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TSMC/ Facility Published

結論

以廠內 DRE 量測結果來看，本研究探討加裝的 ACC 05. Jiehan Zhang, Hang Yang, 2022,“Research
Function，對於 NOx 減量有所助益，但其效益會隨 on the Influence of Combustion Methods on
著處理的製程廢氣總類不同而有所改變；同時以調整 NOx Emissions from Co-combustion of Various
燃氣比來減少反應物的方式，亦可以減少 NOx 的生成 Tannery Wastes”
量，但因為某些製程特氣也能參與 NOx 的生成，導致
06. Ante Kozina, Gojmir Radica, 2020,“Analysis
此條件較難以操作，且在 NOx 減量的同時，可能產生
of methods towards reduction of harmful
另一副產物 CO。通常增加 ACC N 2 量，會使燃燒室中
pollutants from diesel engines”
的最高溫度下降，所以處理氣體的 DRE 會逐漸下降，
所以需要在符合 DRE 規範的條件下，選擇產生 NOx 07. TSMC 《M-C00-16-03-002》300/200MM/FAR BACKEND
量最少的參數組合，但是在表2 可以看到，對於 N 2 O TOOL/LOCAL SCRUBBER ESH SPECIFICATION FOR
而言，其去除效率反而會隨著 ACC N 2 量增加而上升。 PURCHASING AND USED TOOL ESH SPECIFICATION
FOR PROCUREMENT.
本次以 LSC 做為測試對象，藉由在 NG 內增加 N 2 ，以
08. 碩傑企業股份有限公司《FACE-EB3000 移動抽氣式
及調整燃氣比例，降低生成的 NOx 量，以加裝在 DAS
氣體分析儀操作使用手冊》。
Styrax LSC 的 ACC 模組來看，可減量 71.5% 的 NOx
生成 (166.4 → 47ppm，Test#1 & #4)，搭配風量換算 09. https://en.wikipedia.org/wiki/Fourier-
減量約 29g/hr，每年 NOx 可減少排放約 0.25ton。 transform_infrared_spectroscopy#/media/
File:FTIR_Interferometer.png
未來希望能夠以相同概念，套用至其餘 Local
10. https://en.wikipedia.org/wiki/Fast_Fourier_
Scrubber 機型以及如 VOC 等風量較大的燃燒設備，
transform#/media/File:FFT_of_Cosine_
創造更大的減量效益。
Summation_Function.svg

參考文獻 作者介紹

01. 台灣法規《固定污染源有害空氣污染物排放標準》。 江昱慶 Y.C. Chiang
02. WHAT IS SMOG(https://web.archive.org/ 國立成功大學機械所畢業，負責 LSC 系
統，努力朝向空污減量、空污零排放的
web/20110928160543/http://www.ccme.ca/assets/
目標前進。
pdf/pn_1257_e.pdf)
03. Basic Information about NO2(https://www.epa.
gov/no2-pollution/basic-information-about-
no2)
04. G. Jarquin-López, G. Polupan, M. Toledo-
Velázquez, 2009, “Analytical and experimental
research for decreasing nitrogen oxides
emissions”

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