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定才會發出警報，或是氣櫃內的氣體偵測器達到濃度設定警
報才會知道壓力異常。
SCADA程式撰寫的判斷邏輯流程如 圖16，當氣櫃進入
Standby模式(Auto Switch Ready, ASR)之後，延遲1小時讓
PT1壓力穩定後記錄PT1(initial)數值，之後每1小時進行比對
PT1(initial)與當下PT1的差值，
當差值大於設定值(設定值可參考PT1上下振盪的振幅數
值)的時候，即會發出壓力警報，人員則需檢查鋼瓶接頭或閥
件狀態是否異常。
圖17、Standby模式低壓段區壓力監控邏輯
4. 結果與討論
4.1 F15A實務經驗分享
利用以上四種新增的程式監控，套用至目前使用SCADA
系統上，確實可以有效監控不同氣櫃狀態下的壓力變化，且
透過壓力的警報，得知閥件的異常情形並改善。
如 圖18，利用Purge模式高壓段區壓力監控程式，NH 3
氣體及HCl氣體的保壓圖(改善前)在晚上23點及早上4點計算
圖16、Standby模式高壓段區壓力監控邏輯
出來的△P1及△P2的差值大於2psig時發出警報，人員進行檢
查後發現HPI閥件及TAP閥件皆有內漏的情形發生，更換完成
④ Standby模式低壓段區壓力監控 後重新進行保壓(改善後)的△P1與△P2的差值小於2psig，即可
同③ Standby模式高壓段區壓力監控，鋼瓶完成Purge模 確認保壓正常，同時也代表閥件情形正常。
式後，接著進入Standby模式，此時低壓段區的壓力警報設 如 圖19，利用Purge模式低壓段區壓力監控程式，
定與Online模式的設定相同，多數設定皆為Online模式時壓 5%B 2 H 6 /Ar氣體的保壓圖(改善前)在Purge過程中，PT2的壓
力異常的切邊設定。在此Standby期間，若閥件有內漏或外 力已達到警報設定值(-10psig)而發出警報，人員進行檢查後
漏的情形，壓力必須要達到切邊的設定才會發出警報，或是 發現HPI閥件有內漏的情形發生，更換完成後重新進行保壓
氣櫃內的氣體偵測器達到濃度設定警報才會知道壓力異常。 (改善後)的PT2已無上升的現象，即可確認保壓正常，同時也
SCADA程式撰寫的判斷邏輯流程如 圖17，當氣櫃進入 代表閥件情形正常。
Standby模式(ASR，Auto Switch Ready)之後，延遲1小時讓 如 圖20，利用Standby模式高壓段區壓力監控程式，F 2 /
PT2壓力穩定後記錄PT2(initial)數值，之後每1小時進行比對 Kr/Ne氣體的Standby PT1壓力在鋼瓶更換後完上線後第8天發
PT2(initial)與當下PT2的差值， 生PT1壓力下降的情形且達到警報設定值而發出警報，人員進
當差值大於設定值(設定值可參考PT2上下振盪的振幅數 行檢查後發現鋼瓶與Pigtail銜接處外漏，立即進行更換Gasket
值)的時候，即會發出壓力警報，人員則需檢查閥件狀態是否 並重新進行保壓、上線，持續觀察後壓力皆正常，同時也代
異常。 表閥件情形正常。
如 圖21，利用Standby模式低壓段區壓力監控程式，HF氣
體的Standby PT2壓力在鋼瓶更換後完上線後第5天發生PT2壓
力下降的情形且達到警報設定值而發出警報，人員進行檢查後
發現LPV閥件內漏，立即進行更換LPV閥件並重新進行保壓、
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