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Tech
Notes
技術專文
上線，持續觀察後壓力皆正常，同時也代表閥件情形正常。 參考文獻
[01] Air liquid FABSTREAM III user manual.
[02] Air liquid bulk gas dispense system use manual.
作者介紹
陳彥儒 Chen Yen Ju
2008年加入台積大家庭，隨著製程技術的演進，提供自己的
工作經驗，建立穩定供應的廠務系統。
孫愛迪 Aidi Sun
圖18、Purge模式高壓段區壓力監控閥件異常改善 認真工作，品味生活。
謝銘忠 Ming-Chung Hsieh
很幸運的在工作上遇到一位導師，指引我往正確的方向前進。
「老鷹站在樹枝上，不會擔心樹枝折斷，因為要相信的是自己
的翅膀，而不是樹枝。」
圖19、Purge模式低壓段區壓力監控閥件異常改善
圖20、Standby模式高壓段區壓力監控閥件異常改善
圖21、Standby模式低壓段區壓力監控閥件異常改善
4.2 建議與討論
亞東氣櫃在出廠設定中，利用PLC監控PT的監控設定方
式，已滿足大部份使用者的需求，隨著製程的進步及操作人
員的對工作安全愈來愈重視，在PT的監控需求的需要提升。
但是要進行修改正在運轉中的氣櫃的PLC程式，不論是在修
改過程中，或是修改完成後的觀察期間，對廠務穩定供應的
目標都是極大的威脅，因此我們利用SCADA電腦進行新增PT
監控程式，除了不影響運轉的氣櫃之外，也可客製化需要的
功能設定，在撰寫或測試期間，也不影響穩定供應。
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