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TSMC / FACILITY PUBLISHED
                VOL.44
                                                         廠務季刊


                                                          URL.http://nfjournal/



                舊科技廠房氣化供應系統無痛升級方法與實務

                Painless upgrade method and practice of old technology plant's gas/ chemical
                supply system


                                                                                            文│劉桐村 廖俊凱│台南廠務一部│


                摘要 / Abstract

                    本文主要說明高科技廠房的廠務設備會隨時間不斷的演化和進步，並伴隨著長時間的運轉經驗而提出更好的系統改善方
                案，老舊的科技廠房將面臨兩大挑戰。
                    第一 : 系統硬體部分因逐年老化需汰舊換新並藉由不斷完善改善過程(Continuous Improvement Process, CIP)提升系統
                穩定度與可靠度，第二 : 控制軟體部分由微處理器(Microprocessor)控制器升級為可程式化邏輯控制器(Programmable Logic
                Controller, PLC)的改善可符合。這兩大項改善因應工廠24小時生產不中斷之需求，必須有效安排規劃施工程序步驟做到無痛升
                級，並已安全穩健且不影響廠區生產為最高原則，已達到舊科技廠房氣化供應系統無痛升級之目標。

                關鍵詞 / 微處理器、可程式化邏輯控制器

                    This paper mainly statement that the facility equipment of high-tech plants will continue to evolve and improve
                over time, and propose better methods for system improvement with long-term operating experience. In this case, the
                old technology plant will face two major challenges.
                    First : The hardware part of the system needs to be replaced due to the aging of the system year by year, and the
                stability and reliability of the system will be improved through the continuous improvement process(CIP).
                    Second : The improvement of the control software part from Microprocessor controller to Programmable Logic
                Controller(PLC) can be met. These two major improvements meet the needs of the fab 24-hour production without
                interruption. The planning and construction procedures and steps must be effectively arranged to achieve a painless
                upgrade. The highest principle has been safety and stability without affecting the production of the fab area. It has
                reached the painless gas/chemical supply system of the old technology plant upgrade target.

                Keywords /  Microprocessor, Programmable Logic Controller(PLC)



                1.  前言

                    台灣積體電路製造股份有限公司於1987年創立，為滿足                     改善，此研究主要針對特殊氣體供應、化學品供應系統以及
                生產運轉需求，建立許多自動化設施，舉凡製造部、設備工程                        研磨液供應系統，進而進行探討以及改善。
                部、倉儲管理部以及廠務部等，皆有使用自動化設備以取代高                            六廠目前供應系統設計除了不符合目前新工處需求之
                危險、單調性、高頻率的人力行為，減少人為因素的失誤以及                        外，尚有另一件問題正面臨挑戰，即目前部分供應系統廠商
                人力費用的產生，以達到有效、快速以及品質穩定之生產。                         以及零件逐漸停產並Phase out。故如何讓六廠能夠永續且穩
                    以六廠為例，目前正邁向第25個年頭，若以當初的設計                      定的運轉，即為當前最重要課題之一。
                規範需求已不符合現在廠務需求。故將研究探討六廠氣化課
                以及新工處針對目前供應系統相互比較，再針對其優點進行


                                                                                             FACILITY JOURNAL        12  2021  45
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