FFU Installation Procedure for New Fab Construction
新建廠FFU安裝程序之改善研究
針對新建廠之cleanroom 的 FFU+ULPA 之安裝施工方法,思考其改善方案;對施工承包商各種 extra cost 影響最少,但是卻能夠獲得最大改善效益,以此作為出發點;並基於設備之詳細尺寸、施工環境特性...
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