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首頁 / 分期閱讀 / Vol.47 面對穩定運轉挑戰的不斷創新與突破
2022.9
水氣化系統面對各世代製程之挑戰與綠色製造創新發想
2022.9, Vol.47 / 技術專文
The application of two-fluid atomization nozzle and cyclone dust collection
粉塵變不見 - 二流體與旋風集塵的綜合運用
文 | 姚明宗 | 曾喚培 | 台中廠務三部 |
半導體製程當中，每一道製程均有不同的副生成物，其中爐管製程中的六氯矽乙烷(HCD)與二氯矽甲烷(DCS)高溫燒結與水洗後所產生的二氧化矽(SiO2)粉塵與鹽酸(HCl)一直是難以處理的項目，不但會造...

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點閱 (74)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
Development and application of an integrated auto-clean machine for Pumping-line
Pumping-line 全自動清管器的開發與應用
文 | 植軍章 | 謝儀明 | 南京廠務部 |
「製程排氣管路」(Pumping-line)作為「生產機臺附屬系統的一環，一方面承載著提供製程chamber高真空度環境的作用，另一方面也是製程排氣輸送至「現址式廢氣處理洗滌塔」(Local scrubber, L...

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點閱 (55)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
The Breakthrough in the Spatial Location of Local Scrubber
8吋成廠區在LSC拆裝的空間位置突破 - 以8廠為例
文 | 曾能駿 | 李家維 | 謝穎至 | 新竹廠務一部 |
F8從世大建廠之初運轉至今已超過20年，隨著半導體產業日新月異及製程的進步，產能需求銳不可擋，如何在有限的空間把機台安裝效率最大化已成為製造生產端、設備機台端與廠務運轉端最大挑戰。本文旨在分享及介紹F8拆裝機過程的規劃，...

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點閱 (23)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
The Breakthrough and Innovation of Local Scrubber Stable Operation by iSystem Implementation
iSystem導入對廠務LSC穩定運轉的突破與創新
文 | 李珩銘 | 台中廠務三部 |
Local Scrubber欲達成有效節能運轉成效，其先決條件是確保其製程尾氣處理效能可達到良好水準。iSystem藉由確認製程機台所使用的製程氣體，並依據定義該製程氣體於Local Scrubber處理的方式，即時依據...

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點閱 (59)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
Air Distribution Improvement and Management of Downflow Clean Room
單向流無塵室氣流組織改善及精進管理
文 | 葉濤 | 姜玉龍 | 上海廠務部 |
不同於其他廠區無塵室內前期造價昂貴的天車系統(Automatic Material Handling System, AMHS)，F10廠區無塵室內採用的是人工物料搬運系統(Manual Material Handlin...

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點閱 (49)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
Challenges and breakthrough of 200mm Fab system expansion-example by VOC/VEX system expansion
200mm廠區系統擴充面臨考驗與突破-以VOC/VEX系統擴充為例
文 | 李振中 | 竹科廠務二部 |
三廠原始空污處理系統無設計備援機制，各區域僅要求維持負壓，後期為維持負壓，擴充時僅考慮管路串並聯混接，且AEX/VEX為法規加嚴後才進行擴充。為在不影響無塵室運作下擴充系統卻導致擴充後系統過於複雜，增加系統穩定運轉困難度...

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點閱 (54)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
RD Fab Outside Air AMC Improvement-Analyzation and Verification of Optimizing Operating Parameters of Zeolite Rotor Concentrator
RD Fab外氣AMC改善-沸石濃縮轉輪運轉參數最佳化之分析與驗證
文 | 陳建豪 | 新竹廠務四部 | 詹資盛 | 新竹廠務六部 | 張貴琳 | 新竹廠務四部 |
隨著半導體製程的演進，氣態分子汙染物(Airborne Molecular Contamination, AMC)對於半導體製程良率的影響愈來愈顯著，並有許多案例證實其中的低分子量汙染物IPA對於B.S.(Barrier...

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點閱 (70)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
AI application-AMC prediction by machine learning and pollution source analysis
應用AI-AMC機械學習預測與污染來源分析
文 | 莊鎧瑋 | Arizona Facility |
因應市場的需求，半導體製程技術演進快速，電晶體30年內已縮小了1000倍，到了五奈米的技術，而隨著規格及產線環境要求的提升，氣態分子微汙染(airborne molecular contamination, AMC...

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點閱 (31)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
Chiller Optimization-Auto Clean Tube System for Condenser of Chiller
冰機最佳化的最後一哩路-冷凝器ACTS的應用
文 | 黃承灝 | 邱冠瑋 | 台南廠務一部 |
廠務空調系統中以冰水主機為最耗能之設備，冰機主要散熱結構為冷凝器，其中因冷卻水為開放系統，水中容易生成微生物及藻類並於冷凝器銅管壁上形成結垢，進而降低冷凝器熱交換效率，使壓縮機需提升作功以達成散熱造成耗能增加，本文...

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點閱 (31)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
Cleanroom Supply Air Quality Improve-Outside Air Pre-washer
無塵室空氣再淨化-外氣預水洗處理
文 | 張志宏 | 新廠設計部 |
半導體製程世代持續演進，製程對氣態分子汙染物AMC(Airborne Molecular Contamination)管控要求亦越趨嚴格及重視，如何有效控制無塵室內AMC品質便成為廠務運轉上的重要課題。以AMC要求...

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點閱 (83)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
The prevention of hydrogen leak from EPI LSC in N28 plant
虛驚不再來-N28 EPI LSC洩漏全面改善
文 | 張景隆 | 楓祥儀 | 楊竣凱 | 台中廠務一部 |
N28 EPI製程會排放高濃度的氫氣至LSC進行處理，但隨著LSC元件逐漸老化導致LSC前段水洗氫氣洩漏風險上升。本文針對F15A廠內三個氫氣洩漏的虛驚案例，發現原因為機台設計、元件老化及既有保養方法不足，並以此朝...

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點閱 (17)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
Lubrication Improvement for Electric Motor Bearing and Investigation of Predictive Maintenance by Ultrasound Detection.
馬達軸承潤滑改善與超音波預知保養手法探討源分析
文 | 林煒喆 | 林成彥 | 陳博政 | 台南廠務四部 |
馬達故障原因中，軸承故障佔41%，大部分為潤滑不良造成。潤滑失效中最主要因素為潤滑不足，造成介面間直接摩擦而磨損。然而潤滑不足導致的因素卻不只是油加的不夠，反而過度注油也會間接造成潤滑不足與其他不良影響。 ...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文
Explore for Line stopping method
流體管路線上阻斷工法探討
文 | 郭子豪 | 台南廠務二部 |
半導體工廠生產線全年不間斷運轉，廠務中央供應系統常因系統擴充、零件汰換需求甚至異常破管、洩漏問題不得不停線維修，造成不必要額外損失。線上帶壓開孔工法(HOT TAPPING)經過數十年不斷演變，可靠度與安全性亦不斷...

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點閱 (30)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
Application of IOT Tech. on Air abatement system Failure Prediction
應用IOT技術於AAS早期震動故障預警系統
文 | 曾柏憲 | 張子鴻 | 台南廠務四部 |
因應趨向嚴苛的空氣污染防制法，降低因保養不當/未發現異常/系統壽命造成之系統異常為本廠相當重視之議題，於本篇中以互聯網與機械學習作為主軸。來探討使用具有高彈性的αduino架構用於空氣污染防治設備上以期...

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點閱 (27)

editor’s column 編者的話

林文榮 W.R. Lin | 台南廠務六部

隨著公司製程不斷持續演進，工廠對於穩定生產的要求越來越高，其中廠務扮演工廠運轉不可或缺的角色，如何維持系統穩定避免影響工廠是關鍵，而掌握廠務系統運轉穩定基本功為紮實的PM與CIT不斷持續改善。 本期廠務季刊針對「面對穩定運轉挑戰所需的不斷創新與突破」進行研討分享，各廠區提出創眾多新手法及全新處理方式顛覆既有的傳統運轉方式，並透過謹慎的討論評估及測試，獲得不錯的成效，於季刊內容中會有詳細說明。也有廠區與FDCIM合作導入AI概念，不論在系統最佳化運轉 - 效率上與節能改善、AMC提前外氣預警 - 第一時間找出汙染來源，提前應變或更換MAU/FFU濾網達到穩定運轉目標。 其外有更多廠區提出好用工具的開發，不管在PM效率精進或是執行效果最佳化皆有於各系統上實際應用案例，藉由各專家互相學習及教學相長提升穩定運轉挑戰的能力，牛頓有一句名言：「如果說我能看的更遠一些，是因為站在巨人的肩膀上」，藉由各廠提出的創新想法給我們啟發與刺激，使我們突破極限，創造出更高的成就。 同時於季刊中整理的相關運轉資訊與系統設定表格皆可以成為各廠區參考資料，相信此廠務季刊內容對於不論是機械主管與工程師技術提升會有明顯的助益。

創辦人 Founder

莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com

發行人 Publisher

陳鏘澤 Tony Chen

總編輯 Editor in Chief

范恩祖 E.T. Fan | etfan@tsmc.com

本期主編 Editor

吳明哲 Mike Wu

美術主編 Art Director

孫揚淂 YangTe Sun | YTSUNL@tsmc.com

編輯顧問 Editorial Advisory

陳鏘澤 Tony Chen / 薛仁猷 J.Y. Hsueh / 洪永迪 Eddy Hung / 陳勇龍 YungLong Chen / 丁瑞華 Howard Ting / 江世雄 S.H. Chiang / 許天賜 Alex Hsu

編輯委員Editorial Board Members

劉天文 Alan Liu / 蔡秉璋 Ping-Chang Tsai / 黃志田 Jason Huang / 邱士齊 Will Chiu / 王儒安 Ru-An Wang / 王儒生 Ju-Sheng Wang / 曾韋然 W.J. Tseng / 陳信任 S.J. Chen / 熊家田 Chia-Tien Hsiung / 陳龍億 L.Y. Chen / 黃茂庭 M.T. Huang / 蘇勝一 S.Y. Su / 劉佳政 Bart. Liou