首頁 / 分期閱讀 / Vol.35 空污零排放的願景及廠務系統智能技術應用
2019.9
Vol.35 / 技術專文
Intelligent Learning Algorithm in Fluorine Emissions Warning Mechanism of Local Scrubber
應用智能學習演算法建立製程尾氣處理設備氟氣排放預警機制
台積電空氣污染防制設計採用「源頭分類、多段式處理」做法,除了依國家法規設置中央式空氣處理設備(CSC)外,同時更針對不同製程氣體特性增設高效率現址式空氣處理設備(LSC),使排入大氣的污染物含量符合或優於政府規定。...

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Vol.35 / 技術專文
Challenges and Strategies of Air Pollutants Emission Reduction in R&D Fab
研發廠空氣污染物排放減量之挑戰與策略
空氣污染問題已成為人們日常討論的議題,統計陳情案件,以高科技廠較為集中的新竹科學園區周圍空氣污染問題最多,而空污的來源大多數由未經適當處理的污染物經由煙囪排出。面對民眾生活環境及複雜製程所使用的化學物質,操作者應思...

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Vol.35 / 技術專文
Aerosol Reduction Using Depth-filtration Technology in Exhaust System
廢氣中氣膠微粒深度淨化處理技術
半導體製程產生之酸鹼廢氣經化學反應為鹽類固體,分散在空氣中成為懸浮微粒,造成排氣煙囪產生煙霧現象,而引起健康及環保問題。本研究運用高度密合纖維材料構成之深度淨化裝置與現址式洗滌塔設備串聯,針對酸槽之機台尾氣進行氣膠...

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Vol.35 / 技術專文
Improvement of Removal Efficiency Using Reverse-direction Desorption in Zeolite Rotor
高溫逆脫附技術改善沸石濃縮轉輪去除效率
現今台積廠區均使用沸石轉輪濃縮系統作為主要揮發性有機物(VOCs)防制設備,其中沸石轉輪之吸附能力為處理效率之關鍵。而沸石轉輪藉由高溫脫附以及定期水洗兩種方式維持吸附能力。然而在長期使用後,沸石轉輪會因脫附溫度不均...

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Vol.35 / 技術專文
Wet Cyclone Participator of PM2.5 Reduction in Local Scrubber
應用濕式旋風集塵器於製程尾氣 處理設備改善細懸浮微粒研究
PM2.5空氣污染與健康危害之議題近年開始受到重視,為因應民眾對環境品質要求提升的期望,本研究探討目前半導體業界粒狀物防制技術應用,以及製程尾氣處理設備(Local Scrubber,LSC)後端酸性排風管所產生阻...

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Vol.35 / 技術專文
Reduction Strategy for Sulfuric Acid Emission of Stack in Semiconductor Industry
半導體業煙道硫酸排放減量策略
在12吋晶圓廠中隨著產能不斷提升,排氣風量與硫酸使用量增加,硫酸排放總量逐漸受到主管機關的重視。以最新12吋晶圓廠為例,使用硫酸的最大來源是高溫硫酸製程機台及廠務桶槽,參考文獻研究顯示處理廢氣入口濃度越高洗滌塔處理...

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Vol.35 / 技術專文
RCW Recycling for Air Pollutant Removal of Central Scrubber
中央洗滌塔排水 回收再利用改善空污排放
半導體廠空氣污染物處理設備以中央洗滌塔(Central Scrubber)為主,因製程需求演進導致機台廢氣酸鹼混排問題,而目前先進製程廠區酸性氣體排放管道中,氨氣皆佔有一定排放量比例,而煙囪排放氨氣濃度也間接影響無...

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Vol.35 / 技術專文
Operating Parameters Optimization of Chiller System through Big Data
大數據分析冰水供應系統 操作參數最佳化設定
近年來廠務系統上的訊號源已收集至資料庫內,但這些資料以往只針對系統供應品質上去分析,鮮少對系統優化或者是節能運轉去探討,本專案採用i-EDA2 / SAS數據分析軟體,將冰水供應系統最佳壓力設定進行調整,此調整基準...

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點閱 (113)
Vol.35 / 技術專文
Artificial Intelligence of Energy Saving Deployment in Chiller System
人工智慧應用於冰水系統節能技術探討
台積電運用人工智慧和大數據分析將製程最佳化,應用此精神追求冰水系統效能最佳化。2017年應用大數據分析及結合冰水系統找到全系統最佳效能運轉機制,成功開發業界第一個冰水系統最佳化節能控制系統(正負2度C),但因機台管...

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Vol.35 / 技術專文
Dynamic Intelligence Strategy of Industry 3.5 Chiller System
工業 3.5 冰機系統 動態智能決策
本文應用台灣簡禎富教授工業3.5策略於中央空調品質強化(冰水主機、冰水泵、熱回收系統),描述機器學習廠務落地應用流程;提升系統預測能力(降低預測誤差81%)。更精準的預測引導出更好的決策。如同純手動車輛進步到半自動...

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Vol.35 / 新象新知
Acid/alkaline On-line and Realtime Monitoring System of Stack Emissions
煙道酸鹼即時連續監測系統研究
於廠務運轉層面,各項空氣污染物減量改善對策已展開並如火如荼的進行,如酸槽機台異丙醇(IPA)源頭改善及排放減量,煙道不透光率改善及氟氣(F2)異味改善也都已有成效。在這些改善項目執行過程中,選...

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Vol.35 / 新象新知
Combined Inspection Robot and AI monitoring for Cleanroom Quality Control
自動巡檢結合智慧監控應用於無塵室空氣品質量測
半導體產業蓬勃發展,因此對於無塵室內的溫溼度、氣態分子污染物 (AMC)等生產環境品質的控管越趨嚴格,現階段以自動分析儀器並拉設採樣管對固定位置進行AMC監控,並輔以人力至現場進行巡檢。隨著晶圓生產廠區規模越趨龐大...

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竹科十二廠七期製程廢氣處理設備 攝影/ 姚杰明 影像處理/ 洪湘寧

editor’s column 編者的話

王若杰 | 竹科廠務三部

世界衛生組織(WHO)在今年一月公佈的「2019年全球十大健康威脅」中,空氣污染被列為十大健康威脅的首位,更表示「空氣污染是這個世代的新形態菸害」。在台灣,以紀錄片《穹頂之下》為契機,越來越多的民眾意識到空污的存在與危害,並開始關注空污議題。台積電在製程不斷精進的過程中,不僅專注於產品品質的提升,更提供了大量的資源,傾全力達到綠色製造的目標,其中在空污排放改善上,更從廢氣減量、異味排除、白煙削減等問題的解決過程中,處處展現出不妥協的態度及積極改善的決心,逐步朝向「空污零排放」的目標邁進。 此外,在過去的幾年裡人工智能的發展風起雲湧,並以驚人的成效快速發展,然此議題雖然熱了好一陣子,但其進入門檻卻沒有因此而降低,目前業界真正能採用智能化技術的公司並不多,其最大的原因就是缺少專業人才。公司內部亦於多年前成立「智能技術中心」,致力開發大數據、機械學習、雲端運算、智能學習、物聯網等新技術,並針對製程穩定、效率提升以及良率改善等進行智能化應用,以提升公司的競爭力。而廠務系統身為工廠運轉的基石,如何應用智能技術以提升廠務供應系統的穩定性及運轉效率,正是廠務現階段大力發展的方向,除希望培養此方面之專業人才外,更期望工程師能站在這波智能發展的浪頭上,將全新思維導入廠務系統。 本期季刊邀集各廠區機械專家分享多項空污改善及智能技術的應用與成果,第一部分為最新的空氣污染減量技術及策略,包含混排廢氣的改善策略、異味氣體排放預警機制、PM2.5減量技術、硫酸排放削減策略、洗滌塔回收水質改善以提升去除效率等議題;第二部分主題應用大數據、人工智慧、智能決策等新方法,針對廠區最耗能的冰水系統進行優化,以期帶動台積電綠色製造的新步伐;第三部分為二篇新象新知,其一為空污煙道酸鹼連續監測之研究,另一篇為巡檢機器人進行無塵室品質智慧監測的探討,冀望廠務同仁在研讀時能有更多的發想及腦力激盪,並將合適的技術帶回廠區,持續改善。 特別感謝來自不同廠區的同仁,歷經多次會議的討論與修正,一步步讓季刊完整呈現,過程中除感受到大家的熱忱參與外,更看到同仁在空污改善及智能技術的專業,未來,也希望透過智能技術在廠務系統的應用,讓廠務成為一個更專業、更環保、更智慧的團隊。

發行人 Publisher

莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com

總編輯 Editor in Chief

范恩祖 E.T. Fan | etfan@tsmc.com

主編 Editor

王若杰 Rouh-Jier Wang | rjwang@tsmc.com

美術主編 Art Director

洪湘寧 ViGi Hung | vigi_hung@tsmc.com

編輯顧問 Editorial Advisory

薛仁猷J.Y. Hsueh / 陳鏘澤Tony Chen / 陳勇龍YungLong Chen / 江世雄S.H. Chiang / 洪永迪 Eddy Hung

編輯委員 Editorial Board Members

李靜怡 Marie Lee / 劉超奇 Chao-Chi Liu / 李明利 M.L. Lee / 歐人華 J.H. Ou / 黃昭文 Jau Wen Huang / 張丁興 Deacon Chang / 楊水定 S.D. Yang / 連上舜 Tony Lien / 林韋志 W.C. Lin / 楊水定 S.D. Yang / 于 淳 Chwen Yu / 鄭昭平 Tim Cheng / 錢立行 Li-Hsing Chien / 許紘愷 Hung-Kai Hsu / 蔡昀叡 Yun-Jui Tsai / 林素芬 Sophie Lin