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年報

首頁 / 分期閱讀 / Vol.02 Engineering Savings in Semiconductor Fabs
2011.4
2011.4, Vol.02 / 特別企劃
Green Eco-Community Planning and Development
綠色生態社區的發展與規劃
文 | 孫旭輝 | 郭安婷 | 呂坤福 | 研究專案部 |
全球暖化問題持續加溫，統計台灣近百年來暖化速度是全球平均值的二倍，全球增溫0.6度，台灣增溫達1.1度。此外，台灣人口密度高居全球第二，70%以上的人口集中於都市，造成都市土地過度開發，綠地面積偏低且不透水率高達9...

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點閱 (65)
金筆獎入圍
2011.4, Vol.02 / 特別企劃
EMI (Electromagnetic interference) Measurement and Improvement in Cleanroom – taking F12P4/P5 as an example
無塵室的EMI量測與汙染 - 以F12P4/P5為例
文 | 于淳 | 研究專案部 |
在現今高科技的廠房，一定會使用到需要電壓電流來操作的大量電機電子式機台，其內是由許多電子元件或感測器來控制機台作業，因此機台不可避免地就會受到電磁干擾EMI (EMI：electromagnetic interfe...

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點閱 (82)
2011.4, Vol.02 / 特別企劃
Energy Savings in Semiconductor Fabs
半導體廠房之節約能源策略
文 | Andreas Neuber | Applied Materials, Inc. |

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點閱 (114)
2011.4, Vol.02 / 特別企劃
Power System Backup Structure – taking F12 as an example
電力系統備源架構 - 以十二廠為例
文 | 劉明芳 | 設計營建部 | 曾韋然 | 十二廠六期專案 |
因應台積的廠區越來越多，目前在台灣已有竹科、中科、南科，每個園區又分成好幾個廠區，其中以南科最集中，從六廠一直擴展到現在F14P4都在同一區塊上，供電系統廠內大致相同，都以雙迴路供電方式，可避免單迴路故障造成供電中...

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點閱 (53)
2011.4, Vol.02 / 特別企劃
The Energy Saving Study of Variable Primary Flow Chiller System
冰水系統之節能探討
文 | 林學成 | 設計營建部 |
在半導體廠之運轉電費，由以往經驗來看，冰機系統佔總耗電量，高達14%之多，如圖1所示，故由冰機系統切入考量，可得到一定比重之節能成效。有鑑於此，tsmc評估既有系統架構之優缺點後，...

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點閱 (48)
2011.4, Vol.02 / 技術專文
Microseismic Spring Wafer Wagon Design for Vibration Improvement
創新型微震彈簧推車研發設計及震動改善
文 | 張智能 | 徐岳聖 | 黃俊銘 | 蕭博戎 | 唐炳順 | 朱良堃 | 三廠廠務部 |
針對本廠既有推車做不同類型參數實驗，包括孔洞板、實心地板、軟硬彈簧等震動試驗，以研究在各種不同的參數實驗下，推車於運送POD過程中分析Wafer震動及Wafer Notch旋轉偏移等問題做深入之探討。本研究分成實驗...

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點閱 (81)
2011.4, Vol.02 / 技術專文
A Ditopic Fluorescent Sensor for Potassium Fluoride
偵測氟化鉀之雙目標螢光感測器之研究
文 | 陳虹瑤 | 台灣大學環境工程系 | 許明皓 | 台灣大學環境工程系 | 吳怡亭 | 國立台灣大學化學工程系 | 林語騰 | 國立台灣大學土木工程系 | 黃正吉 | TSMC 製造技術中心 | 張陸滿 | 國立台灣大學土木工程系 | 林郁真 | 台灣大學環境工程系 | 林正芳 | 台灣大學環境工程系 |
添加的氟化鉀(KF)“接通”螢光感測器1 與感測器2，但添加氯化鉀(KCl) 和溴化鉀(KBr) 在螢光感測器 1 與感測器2 中卻無螢光反應。螢光反應同時也可以“關閉&rdqu...

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點閱 (88)
2011.4, Vol.02 / 技術專文
F14P1 Office Building Environment Comfort Survey
F14P1辦公室環境舒適度調查
文 | 趙熙雍 | 研究專案部 |
2010年底，公共設施服務部對F14P1 O棟三千多位同仁作了一個辦公室環境舒適度調查，經過一個多月的推廣，總共收到931位同仁的回應，表達了他們對各項辦公室環境指標的滿意度。實施如此規模的問卷調查，從問卷的設計、...

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點閱 (43)
2011.4, Vol.02 / 技術專文
Cut-off Wall Design and Construction Study
截水牆灌漿設計及施工探討
文 | 呂學源 | 十二廠六期新建工程專案 |
針對不同之地質條件及工程需求，所採取之地質改良工法也有所不同。若依功能區分大致可分為增加土壤支承力、減少變形量、減少側向土壓力，增加止水或排水效果等項目。對於上述之功能需求均有多種工法可供採用，但鮮少有單一工法可滿...

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點閱 (60)
2011.4, Vol.02 / 新象新知
A new approach for companywide clock alignment
提昇企業時鐘準點
文 | 彭如秀 | 公共設施服務部 |
時間，它與我們形影不離，但視線可及之處，如接待大廳、會議室及演講廳等的時鐘，由於準確度不同，時間呈現亦各有差異，易造成使用者困擾，也因採傳統式電子鐘故需額外人力調整時間及更換電池，因此，尋求一種自動對時且準確性高的...

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點閱 (26)
2011.4, Vol.02 / 新象新知
What’s Google Thinking!
知識不是力量，跨越知識的鴻溝才是力量
文 | 宋思賢 | 規劃管理部 |
近年來，當要做報告抑或尋求知識的過程，不再只是看書，而是藉由上網搜尋。網路上有著各式各樣的資訊，不斷更新的內容，藉由不斷的分享而不停的成長，這一個過程漸漸的形成一個動詞，Google！對現代人而言，這不再只是一間公...

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點閱 (37)
2011.4, Vol.02 / 新象新知
Augmented Reality – the combination of real world and virtual reality
擴增實境 - 真實世界與虛擬資訊的結合
文 | 王翔昱 | 規劃管理部 |
擴增實境(Augmented Reality , AR)是基於虛擬實境(Virtual Reality ,VR)所延伸變化出來的技術，透過與虛擬的物件或資訊接合，增強真實世界裡的資訊顯示，藉以提昇使用者的感知，相關...

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點閱 (32)
2011.4, Vol.02 / 特別企劃
Green Building Development : Progress Toward Global Sustainability
工業綠建築發展
文 | Dr. Kath Williams | Associates |
With green development becoming a common term, the global transformation to sustainability is moving from a...

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點閱 (68)
2011.4, Vol.02 / 樂活園地
Enjoy A Leisurely Life
享受悠閒時光
文 | 王俊勝 | 公共設施服務部 |
忙碌的工作，你，有多久沒放鬆心情了？　忙碌的生活，你，有多久沒走出戶外了？...

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editor’s column 編者的話

陳鏘澤 | 研究專案部

繼一月份探討虛擬實境建廠手法的創刊號之後，本期我們將換一個角度來談談創新及環保節能在我們工作面的應用及外界的發展現況。特別企劃中我們特別邀請 ITRS roadmap 委員 Dr. Andreas Neuber針對半導體廠房在廠務設施及製程機台的節能手法提出其多年研究的看法，其中除了多年來在廠務系統的節能手法之外，也包括在製程機台端未來到2015年之節能及Roadmap，相信藉由此篇文章的分享，期待能引發我們在此方面的思考及更進一步的突破。 除此之外，技術專文中收錄了四篇文章，其中廠務同仁提出運用創新微震技術，解決灰塵微粒污染晶舟傳送的問題，以提升良率並節省成本；並刊載螢光偵測氟化鉀的最新技術，可望縮短晶圓受到氟離子汙染的檢測時間。新象新知介紹系統時鐘管理的新手法－藉由網路功能將數以千百計的時鐘達到一致性；另外，介紹如何透過「Google」的概念收集資訊，以協助建廠規劃設計。最後在樂活園地裡，透過俊勝快門下的捕捉，一起分享他看到的美麗視界。 藉此機會，讓我們一起恭賀本刊發行人莊子壽處長榮獲台灣國際專案管理師協會辦理的第二屆「十大傑出專案經理人獎」，並於4月17日由立法院王金平院長頒發此榮耀，身為公司的一份子我們亦深感與有榮焉。

發行人 Publisher

莊子壽 Arthur Chuang

總編輯 Editor in Chief

范恩祖 E.T. Fan

主編 Editor

陳鏘澤 Tony Chen

編輯顧問 Editorial Advisory

鍾振武 Chenwu Chung / 黃偉裕 Cronus Huang / 洪永迪 Eddy Hung

編輯委員 Editorial Board Members

林素芬 Sophie Lin / 賈芸如 Ruby Chia / 丁瑞華 Howard Ting / 蘇鈺洲 Y.C. Su / 于 淳 Chwen Yu / 郭安婷 Lucinda Kuo / 林永祥 Martin Lin

美術主編 Art Director

洪湘寧 ViGi Hung

攝影 Photographic Editor

張育誠 Yu- Chen Chang / 洪湘寧 Vigi Hung