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我是老歐，在2015年3月，從八吋廠廠務部轉調到十二吋廠廠務處中科廠務部服務，也首次從「讀者」的身份，成為「主編」的身份，在此感謝各位主管與同仁的指導與支持。 本期季刊內容係以「推動環保與節能的半導體廠房運轉新思維」為主題，總共網羅十二篇精彩的文章，包括技術專文十篇與新象新知兩篇，希望透過一系列專文，與讀者分享竹科、中科及南科機械團隊的運轉經驗與環保、節能的解決方案。 技術專文第一部份為環保與空汙專題，共計五篇精彩文章，包括竹科廠務提出之《排氣革命：揮發性有機物減量新思維》及《預防勝於治療─製程尾氣處理設備預防保養追根究底與瓶頸突破》，南科廠務提出《排氣風管結晶清潔新技術》及《空污總碳氫化合物監測新技術評估及探討》，中科廠務提出《冷卻水塔水蒸氣改善設計回顧與創新》，皆是目前各廠區實際運轉所面臨挑戰與經驗分享。 技術專文第二部份為節能專題，共計四篇精彩文章，包括竹科廠務《動態節能外氣空調箱》，南科廠務《全新角度檢視水側熱回收─全熱回收抗寒大作戰》，中科廠務、艾法及奇立公司合作提出之《淺談盤管環路熱回收系統在外氣空調箱的應用》及邀請國立台北科技大學能源與冷凍空調工程系胡石政教授研究團隊所提出之《廠務能源轉換係數計算器之研究發展及應用》。上述四篇文章分享各廠對節能措施之實際做法與在建廠初期或無塵室低負載狀態下，如何透過全熱回收在冬季寒流期間維持無塵室溫溼度的精準控制；另外，在廠務端節能計算的研究，透過胡老師研究團隊發展之廠務能源轉換係數計算器，讓使用者可以自行輸入基礎條件及效率值，將各種公用設施能源耗用情形可視化及指標化，做為尋求改善運轉效能的潛力與機會。 技術專文第三部份為竹科廠務提出之《微污染防治：十二廠六期電化學電鍍製程環境異丙醇減量之應用與探討》，解決與量測無塵室內微汙染及減少對生產之影響，提出實務的改善方法與處理對策，供廠區間學習與參考。 最後的新象新知，第一篇為新廠設計部所提出之《揮發性有機物削減設備節能新設計：蓄熱焚化爐與旋轉閥式蓄熱焚化爐》；第二篇為中科廠務所提出之《廢氣處理設備大突破：紫外光技術應用於N2O減量》，透過上述文章的發表，除喚起大家對溫室氣體減量及節能減碳議題的重視外，進一步省思高科技產業在揮發性有機化合物設備節能新設計與N2O溫室氣體減量技術研究探討，需大家共同面對並展開具體行動，也預期上述議題將成為全球氣候變遷與臭氧保護的重要課題。
莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com
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歐人華 J.H. Ou | jhou@tsmc.com
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