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首頁 / 分期閱讀 / Vol.14 邁入10奈米製程的廠務系統設計新思維
2014.6
在半導體即將跨入10奈米製程的過程中，提供廠務系統及廠務設備的設計思維，期能為最新進製程提供最到位的服務
金筆獎入圍
2014.6, Vol.14 / 技術專文
Simulation of Stack Emission and the Impact on Cleanroom Intake Air
以計算流體力學模擬煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響
文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 馮郁寧 | 國立臺北科技大學 | 胡石政 | 國立臺北科技大學 |
本研究採用有限體積法，透過計算流體力學(CFD)軟體 – Ansys-FLUENT進行相關分析，以一新建廠房相關數據進行模型的建立，同時將鄰近廠區相關數據納入評估，針對該廠區在不同季節條件下，污染物(總...

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點閱 (76)
2014.6, Vol.14 / 技術專文
New Technology for Ammonia Recycling from Wastewater
創新氨氮廢水資源化
文 | 李玫 | 新廠設計部 | 傅正貴 | 十四廠七期專案 | 王俊元 | 十四B廠廠務一部 |
半導體事業所排放的廢水常含有高濃度的氨氮與雙氧水，具有高污染濃度、高生物毒性等特性，依新制之放流水標準，對於氨氮廢水的處理是刻不容緩的。本文介紹以脫氣膜(MD)的處理方式，將廢水中的氨氮轉換為硫酸銨廢液，企圖將廢水...

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點閱 (56)
金筆獎入圍
2014.6, Vol.14 / 技術專文
Influence of Cleanroom Ambient Humidity on the Formation of Nanoparticles
無塵室環境濕度對於奈米粒子污染生成的影響
文 | 郭啟文 | 廠務技術發展專案 |
Water condensation on wafer surfaces is highly related to the formation of nanometer size defect. In the ma...

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點閱 (64)
2014.6, Vol.14 / 技術專文
Membrane Type Outdoor Air Humidifier and Washer
膜板式外氣水洗加溼器加濕裝置研究
文 | 曹志明 | 新廠設計部 | 康智翔 | 十二廠廠務一部 | 陳庭鈞 | 十二廠廠務一部 |
為同時達成潔淨室外氣空調箱加濕以及淨化外氣，並延長高效過濾器以及化學過濾器的壽命，水洗加濕器已成為外氣空調箱的標準配備。傳統的水洗加濕器大多藉由加壓循環泵輸送洗滌水，直接吸收來自外界的固態微粒及氣態汙染物，然而考量...

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點閱 (51)
2014.6, Vol.14 / 技術專文
Power Signature Analysis and Application
電力負載電紋特徵辨識技術應用探討
文 | 李文振 | 新廠設計部 |
本文主要是探討電力電紋特徵辨識技術如何應用於電力監控，提供電器設備使用狀況、使用者用電行為及提供各種智慧與電能管理，並瞭解其應用關鍵技術及未來可能發展功能。 目前半導體晶圓廠電力監控系統架構雖能瞭解用電分佈，但仍無...

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點閱 (57)
2014.6, Vol.14 / 技術專文
Liquid Desiccant Air-conditioning and Energy Saving Applications
溶液除濕空調與節能應用
文 | 周政隆 | 新廠設計部 | 陳俊棋 | 台灣費思科技 |
傳統空調系統的優勢在於顯熱的處理，即使經過百年的改善精進，要在既有的原理基礎上得到良好的潛熱處理效率仍是困難。而溶液除濕空調(Liquid-Desiccant Air Conditioning., LDAC)系統則...

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點閱 (38)
2014.6, Vol.14 / 技術專文
Constant Pressure Feedback Control Method for Low Pressure Vapor Gas Distribution System
低蒸氣壓氣體之壓力恆定迴授控制應用
文 | 黃介然 | 新廠設計部 | 許駿烽 | 十二廠務工程專案 |
低蒸氣壓氣體供應系統，會因相位變化造成供給壓力不足或不穩定，且以機械式調壓閥調整壓力，調壓閥之機械壓損特性亦會造成供應壓力之不穩定。本文探討此一現象之發生原因，並應用壓力恆定迴授控制改善低蒸氣壓氣體之供應。...

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點閱 (68)
2014.6, Vol.14 / 技術專文
Energy Saving in Data Center Infrastructure
高效率綠機房節能手法探討
文 | 孫旭輝 | 新廠設計部 |
因技術演進及應用需求增加，雲端運算、虛擬化、智慧節能、巨量分析等功能不斷增加，電腦機房之設置走向高密度、高穩定性、高效率、高彈性、可擴充性，但也高耗能的趨勢，設計一個節能又穩定的機房為一重要的課題。 電腦機房空調供...

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點閱 (56)
2014.6, Vol.14 / 新象新知
Inhibition Of Copper Corrosion By Removal Of H2O2 From CO2-Dissolved Water Using Palladium Catalysts
鈀(Pd)觸媒於超純水中去除雙氧水以抑制銅腐蝕之應用
文 | 林豪逸 | 新廠設計部 | 矢野大作 | 奧璐佳瑙科技股份有限公司 |
超純水系統因紫外光的照射會導致內含有10～40μg/L的雙氧水，另雙氧水處於超純水酸性環境中會加速銅腐蝕的行為。目前發現藉由鈀觸媒陰離子樹脂(Palladium-loaded monolithic anion...

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點閱 (29)
2014.6, Vol.14 / 新象新知
Internet of Things and the Application for Fab’s Facility System
物聯網簡介
文 | 于淳 | 廠務技術發展專案 |
未來世界要如何達成全面的自動化智慧化，是要如何透過各類感測器多點的建立，進而達成全面對物質環境即時的監測，還有將人類的工作知識程式化置於雲端，再透過網路讓各相關機器彼此自動化的互通運作，而大量減少人為對資訊處理的介...

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點閱 (58)
2014.6, Vol.14 / 新象新知
Cutting-edge Technology Enables the Impossibility : Building New Fabs with 3D Printing
科技一日千里：哇…3D列印建廠不是夢！
文 | 黎昌憲 | 新廠設計部 |
本文針對積層製造技術(Additive Manufacturing)，即俗稱的3D 列印(3D Printing，以下簡稱3D 列印)，以層級性的敘述方式來研析3D 列印的由來、階段發展歷程、技術原理與特色以及未來...

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點閱 (38)
2014.6, Vol.14 / 新象新知
The Application of Intelligent Video Fire Detection System
智慧型火災影像偵測系統之應用
文 | 鄒李達 | 新廠設計部 | 洪文當 | 新廠設計部 |
目前廠內在潔淨室、氣體房、化學房、電腦機房、變電站...等區域安裝的火災煙霧偵測器，不論是VESDA、光電或離子式偵測器，須待現場煙霧濃度擴散及遮蔽率達一定程度以上，警報才會觸發，(依不同環境可能耗時 2~3 分鐘...

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editor’s column 編者的話

丁瑞華 | 新廠設計部

在半導體製程即將邁入10奈米及7奈米製程之同時，廠務系統不論在微觀的製程環境與巨觀的資源供應，或是對於周遭的自然環境受體，都會產生新的衝擊與挑戰。這些衝擊與挑戰包括了：超純淨原物料（水、氣體、化學品）的製造、供應與輸配，供電系統品質與能源節約，以及製程生產條件的控制（生產環境之潔淨度及穩定性控制、電磁波防護、廠房微震動、廠務系統效率優化，以及省水、省能、降低污染排放）等課題。本期新工季刊即針對這些課題，收錄了八篇技術專文；其中《以計算流體力學模擬煙囪對外氣空調相近氣品質的影響》及《潔淨室環境濕度對於奈米粒子汙染生成的影響》二文，討論潔淨室的環境控制及可能對製程造成的潛在風險的因子進行討論。《膜版式外氣水洗加濕器》、《溶液除濕空調與節能應用》、《電力負載電紋特徵辨識技術應用探討》及《高效率電腦機房節能手法探討》，則分別對冷凍空調系統、電力監控及電腦機房設計提供效率優化及能源節約的選擇。《低蒸氣壓氣體之壓力恆定迴授控制應用》一文，以創新的方式，提升低蒸氣壓氣體供應之穩定性。《創新氨氮廢水資源化》則提供了大量使用氨水的半導體廠一個降低環境衝擊又可將氨氮廢水轉為再利用資源的方向。新象新知部分，分享了以觸媒法除去超純水製造過程中之副產物-雙氧水、智慧型火災偵測系統，以及最近非常熱門的話題-物聯網與3D列印技術，未來也都可以應用在建廠及廠務系統上。 在有限的篇幅中，雖然無法涵蓋未來廠務系統各領域的趨勢及應用，但期能以這些專文開啟讀者一個創新的思維，並引起更深入探討。

發行人 Publisher

莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com

總編輯 Editor in Chief

黃昭文 Jau Wen Huang | jwhuanga@tsmc.com

主編 Managing Advisory

丁瑞華 Howard Ting | jhting@tsmc.com

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洪湘寧 ViGi Hung | vigi_hung@tsmc.com

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洪湘寧 ViGi Hung | vigi_hung@tsmc.com