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2017年起，國際半導體技術發展路線圖(International Technology Roadmap for Semiconductors, ITRS)資料不再更新。繼任者是國際設備和系統技術藍圖(International Roadmap for Devices and Systems, IRDS)，更新各種系統的新技術。目前最新 2019年 IRDS中第三部分良率精進的章節，談到了許多廠務系統品質相關的議題與未來的發展方向，基本上和我們現行的方向是一致的。在先進製程中，我們對於供應品質的要求甚至還高於IRDS的標準。IRDS讓大家與時俱進，提供了最新技術參考資料，並讓同仁瞭解廠務系統品質的重要性。 在2019年，原物料中不穩定的微粒不純物是影響先進製程良率的重要因子之一。然而目前業界廣泛使用的液體微粒計數器(Liquid Particle Counter, LPC)僅可測得20奈米的微粒，和目前最先進的3奈米製程仍有段不小的差距。新象新知中提到了一套結合微分電移動度分析儀(Differential Mobility Analyzer, DMA)與核凝微粒計數器(Condensation Particle Counter, CPC)的量測系統，具備有量測到3奈米微粒的能力，但如何克服量測標的濃度過低，或是化學品在霧化成氣膠(Aerosol)後仍有大量未揮發的液滴造成測值干擾的問題，仍是該項技術未來的發展重點。唯有持續發展並改進這項技術，未來才能於第一時間將含有微粒汙染物的異常原物料攔截，進而提升製程良率。 另外我們在循環經濟的發展也有所突破，我們發展出將大量半導體廢硫酸回收轉製成為工業級硫酸銨的乾燥技術。 30% 硫酸銨液體經由蒸發、濃縮再結晶，製作成為再生資源產品「工業級硫酸銨晶體」進行銷售，不僅可節省硫酸銨的清運量，並將廢棄物資源循環到其他業界，作為皮革、染整原料使用，廢棄物也可變成黃金。如何透過創新的發展模式，讓公司的綠色製造及綠色供應鏈全速發展，是未來非常重要的課題。 感謝各廠區部門主管熱心推薦重要的技術專文，參與本期期刊的發表。每位作者很用心的將這些議題的學習經驗與案例，從鉅細靡遺的原始數據，經過多次的文章討論與修改，將重點中的重點節錄清楚。除了和大家分享氣化系統供應品質提升的方法與實務，也站在循環經濟的角度，針對因先進製程所產生出更多種類與量體的廢棄物，提出了更多更有效的資源再生技術。 希望本期期刊的技術專文發表，能帶給各運轉單位實質的幫助與激勵的動能，並推使廠務團隊一起持續朝向高品質提供者、資源再生專家及系統穩定運轉方向的目標邁進。
莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com
范恩祖 E.T. Fan | etfan@tsmc.com
曾恒毅 Heng-Yi Tseng | hytzeng@tsmc.com
洪湘寧 Shiny Hung vigi_hung@tsmc.com
王俊元 Jimmy Wang / 趙樹華 Chris Chao / 丁瑞華 Howard Ting / 李明利 M.L. Lee / 尤國男 G.N.You / 張清淦 C.K. Chang / 林文保 Kenneth Lin / 彭榮晃 L.H. Peng / 于 淳 Chwen Yu / 李靜怡 Marie Lee
陳鏘澤 Tony Chen / 薛仁猷 J.Y. Hsueh / 陳勇龍 YungLong Chen / 江世雄 S.H. Chiang / 洪永迪 Eddy Hung
