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首頁 / 分期閱讀 / Vol.45 綠色製造及智能技術應用
2022.3
Green manufacturing and
intelligent technology application
綠色製造及智能技術應用
2022.3, Vol.45 / 技術專文
From Deep Learning Techniques to MLOps Concepts : Take CCTV Surveillance Analysis as an AI-Landing Example
從深度學習技術到MLOps : 以CCTV影像工安辨識談人工智慧的落地應用為例
文 | 謝志宏 | 廠務數位發展部 | 翁逸驊 | 廠務數位發展部 | 林君穎 | 廠務發展處 | 黃俊銘 | 廠務發展處 |
各項報告指出，由於工地環境複雜多變，從高處墜落及物體飛落砸傷等風險，使得營建業成為近年來重大職業災害人數最多的產業。然而傳統以人員持續監控CCTV影像畫面來強化工地安全的作法，需投入大量的人力工時，除了在工程範圍擴大時，...

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點閱 (104)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Improved vibration quality of rotating components of air abatement equipment
空污防制設備轉動元件振動品質精進
文 | 陳聰 | 新竹廠務三部 |
在生產製程中產生的污染廢氣，會使用到離心式風機來處理廢氣排放。目前廠區多半的風機都是用外國經過電腦模擬計算設計的工法，以高處理效率及降低成本的目的來製作風機．所以風機整體結構強度在一般氣體使用上應無問題，但若是使用...

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點閱 (67)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
With more strictly air pollution regulations, Local Scrubber improve strategy for aged operation Fab
日趨嚴謹空污法規對於成廠區LSC之精進改善
文 | 盧泓佑 | 新竹廠務二部 | 康智翔 | 新竹廠務二部 |
歷經二三十年的發展，半導體工業已經成為台灣最重要的經濟支柱之一，隨著半導體工業的高度成長，明星產業背後所隱藏工業污染問題也日益受到重視。各界漸漸對空污排放提高標準，而對於運轉多年半導體廠區，既設製程尾氣處理設備如何...

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點閱 (54)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
The accuracy and application of Online IC in Stack monitoring
煙道酸鹼連續監測(Online IC)精確度提升改善及其應用
文 | 溫閎元 | 亞太廠務處 | 錢立行 | 新竹廠務四部 | 趙世閔 | 新竹廠務四部 |
於廠務運轉，各項污染物減量改善也隨之展開，如酸槽機台IPA(異丙醇)源頭改善及排放減量，煙道不透光率及F2(氟氣)異味改善。在這些項目執行過程中，選擇以何種方式量測污染物及驗證改善成效更是重中...

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點閱 (43)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Application of a new technology for capturing wet bench process produced particles-wet electrostatic precipitator(Wet-EP)
濕式製程微粒攔截新技術應用(WET-EP)
文 | 林尚志 | 新竹廠務九部 | 田麒鈺 | 新竹廠務四部 |
本研究主要針對高溫硫酸清洗機台(HT-SPM)排放的廢氣進行改善，該設備除了化學品用量的增加外，從N16到N3風量也由2,400CMH增加到7,200CMH。這些廢氣中不僅含有大量的酸鹼氣體，更因酸鹼混排產生了大量...

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點閱 (29)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Inspection and Re-creation a Friendly Environment for Air Pollution Reduction for 30-year-old Factory
30年老廠空污健檢減量與再造友善環境
文 | 魏君穎 | 新竹廠務一部 |
由於環境污染日趨惡化，加上近年來環保意識抬頭，各界對於污染管制紛紛提高標準，工廠廢氣的排放也受到關注。對企業而言，除了必須遵守空氣污染法規的要求外，如何在資源有限的情況下降低廢氣的排放量和改善防制設備發揮最大效益，...

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點閱 (37)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Air pollution reduction-Discussion on the removal efficiency of organic pollutants by Local Scrubber
空污減量-現址式尾氣處理設備針對有機污染物去除效率探討
文 | 楊竣凱 | 台中廠務一部 | 蔡景安 | 台中廠務一部 |
空氣污染議題是近年來工廠運轉日益重視議題，而煙囪排放有機污染物已成為顯學，本研究透過污染物源頭分析，利用現址式尾氣處理設備(Local scrubber)改造，進行源頭污染物減量改善，提升有機物去除效率，並利用模擬...

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點閱 (26)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
LSC Switching valve Risk Management and Intelligent Application
LSC切閥風險管理及智能化應用
文 | 林欣駿 | 台中廠務三部 | 林俊億 | 台中廠務三部 |
隨著台積製程演進與空污改善需求的增加，工廠內的廢氣處理設備(Local Scrubber, LSC)切閥次數也更加頻繁，其各廠區LSC切閥異常的案件及影響機台生產的品質也不斷的攀升。為了避免各廠區人員切閥異常造成的...

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點閱 (23)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Air Pollution Improve Strategy for Environmental assessment Fab
環評廠空污減量躍進做法及未來思維
文 | 陳昭文 | 台中廠務三部 | 姚明宗 | 台中廠務三部 |
2016年12月通過環保署第306次環評大會審查，中科空氣污染減量、符合總量管制之承諾。隨著台積製程演進與產能需求的增加，為了符合最關鍵的空污總量管制，對於空污的改善是持續演進，廠務處集合新廠設計部、ISEP眾多專...

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點閱 (27)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Diagnosis systemic for Fluorine emission
氟氣排放診斷
文 | 林朝順 | 台南廠務二部 |
半導體製程原物料與副產物中含有多種危害性氣體(腐蝕/爆炸/毒性/...等)，因此需在主機台後端裝設前段廢氣處理設備(LSC)來處理這些危害性氣體，才可確保廢氣排放達到安全及環保的規格。然而這些高腐蝕性氣體也會侵蝕L...

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點閱 (47)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
IOT Technology Is Applied To The FFU Speed Control Automatically For The Evenly Temperature Of The Clean Room
IOT技術應用於FFU轉速自動化調整無塵室溫度均勻分布
文 | 蕭睿呈 | 台南廠務六部 |
近年來物聯網技術發展越趨成熟，與半導體產業相輔相成，電晶體到了21世紀，製程已達到奈米等級，大幅降低功耗，而低功耗設計正是物聯網中的感測器可否被廣泛運用的關鍵因素，因此半導體技術的進步是促成物聯網快速發展的推手，也...

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點閱 (26)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Air pollution Improvement-As Emission Reduction Analysis
空污改善-煙道有害空氣污染物-砷及其化合物減量研究
文 | 楊映茹 | 台南廠務四部 | 鄭詠丞 | 亞太廠務處 |
因應環保署新增半導體煙道有害空氣汙染物排放限值，廠內離子植入使用之砷化氫經處理後產生之砷及其化合物屬於公告物種之一，公司除需符合法規也有責任降低砷及其化合物之排放量。

解析F14B歷年煙囪檢測砷...

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點閱 (22)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Chiller Refrigeration Cycle Anomaly Detection with Machine Learning methodology and operation
機械學習診斷冰機冷媒系統方法與實例
文 | 蔡昆憲 | 廠務數位發展部 | 鄭凱元 | 十四廠暨廠務自動化整合部 | 謝子宸 | 十四廠暨廠務自動化整合部 |
本案為廠務數位發展與廠務CIM合作為台積電廠務首度成功推廣至全公司使用機器學習方法達到超越專家能力的異常偵測系統。主要應用於缺乏代表性感測元件的冰機冷媒密閉迴路，在不額外增加廠務工程與維護成本條件下，藉由現有資訊進...

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點閱 (14)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Optimization of Intelligence application efficiency_Real-time analysis for exhaust sub-main with tool FDC
智能應用效率最佳化_Exhaust sub-main自動連結設備FDC即時分析系統
文 | 吳聖儀 | 台南廠務六部 |
300mm廠務組織合併後，集合眾專家所長推出了廠務資訊整合平台-OneFAC，藉此輔助廠務運轉管理，也因系統整合，廠務有平台可獲取各廠的廠務相關資訊，可說廠務運轉管理已邁向成熟階段。然而對廠內資訊的呈現仍不夠即時，...

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點閱 (24)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Destruction efficiency promotes with LOW NOx Operational Parameters of Dual Rotor VOCs Process System for Green Manufacturing
綠色製造 - VOC雙轉輪系統處理效率提升與LOW NOx運行參數
文 | 盧人瑜 | 亞太廠務處 | 楊詠翔 | 台南廠務六部 |
雙轉輪VOC開始使用，目的為提高VOCs的處理效率，降低排放量以利空污減量，廠區內使用廠商分為D公司與J公司，單轉輪設計處理效率為95%，雙轉輪設計預計能到達99%以上處理效率，VOCs的排放量減少為單轉輪設計的1/5。...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Exploration and Application of Autonomous air pollution detection in Nanjing Factory
南京廠空污自主檢測的探索與應用
文 | 張波 | 南京廠務部 |
環境問題已然成為當今全球最重視的話題之一，隨著半導體行業的飛速發展，人們也越來越重視該行業廢氣排放的研究與改善，但受限於在綫監測儀器的分佈率及成本，實驗手動檢測仍然是空污改善最常用的量測手段。因此南京厰建立廠內空污檢測實...

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editor’s column 編者的話

歐人華 | 年度維修專案 APM

本期季刊內容係以「綠色製造及智能技術應用」為主題，總共網羅17篇精彩的文章，希望透過一系列專文，與讀者分享竹科、中科、南科、亞太及新工等廠務機械團隊的運轉經驗與空污、環保、節能與AI智能運用的解決方案。 在綠色製造方面，共有9篇與空污、環保與節能相關的文章，探討包括VOC及Local Scrubber處理效率改善、煙囪有害空氣污染物減量研究、空污煙道酸鹼連續監測(Online IC)精確度提升，亦針對運轉超過30年的晶圓廠，如何透過標竿學習，在空間有限的條件下，再造友善環境。在智能技術應用方面，共有6篇與AI智能技術、機械學習及IOT技術應用相關的文章，探討包括深度學習技術進行CCTV影像工安辨識、機械學習診斷冰機冷媒系統方法、IOT技術應用於FFU轉速自動化調整無塵室溫度均勻分布等應用；另外，本期亦有2篇文章探討新技術應用，包括濕式靜電集塵技術(Wet-EP)及中空纖微TOC濾網應用，值得所有讀者閱讀與參考。 透過上述文章的發表，除喚起大家對空污減量及節能減碳議題的重視外，進一步省思如何應用AI智能技術對高科技產業在工地安全維護研究探討，需大家共同面對並展開具體行動，也預期上述議題將成為引領產業創新的重要課題。

創辦人 Founder

莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com

發行人 Publisher

陳鏘澤 Tony Chen

總編輯 Editor in Chief

范恩祖 E.T. Fan | etfan@tsmc.com

本期主編 Editor

歐人華 J.H. Ou

美術主編 Art Director

孫揚淂 YangTe Sun | YTSUNL@tsmc.com

編輯顧問 Editorial Advisory

陳鏘澤 Tony Chen / 薛仁猷 J.Y. Hsueh / 洪永迪 Eddy Hung / 陳勇龍 YungLong Chen / 丁瑞華 Howard Ting / 江世雄 S.H. Chiang / 

編輯委員Editorial Board Members

楊水定 S.D. Yang / 彭成義 Jimmy Peng / 康智翔 Z.H. Kang / 趙世閔 Shih-Min Chao / 莊哲嘉 Che-Chia Chuang / 古義榔 Y.L Ku / 廖禹奕 Yu-Yi Liao / 李宗儒 Shaum Lee / 蔣昌仁 C.J. Chiang / 林文榮 W.R. Lin / 藍家斌 C.P. Lan / 李坤璋 Quincy Li / 王恆杰 H.C. Wang / 吳孝修 Shiau-Shiou Wu / 干成果 C.G. Gan / 于淳 Chwen Yu