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02020年全球籠罩於COVID-19與中美貿易戰危機,但在全球晶圓代工市場上,隨著5G無線通訊世代加速來臨,與因疫情間接帶動遠距工作、學習、娛樂相關電子需求,因此公司展現業績迭創新高的營運表現,而其中高階先進製程技術領先與生產品質良率更是半導體製造競爭力與優勢的重要關鍵。再者,今年台灣梅雨季短且無颱風登陸,導致豐水期降雨量極少,面臨56年來最嚴峻乾旱,各地水庫水情也拉起警報,創下在10月就將水情燈號轉為黃燈的紀錄;也因此不只是水管理,所有綠色製造的面向,是必須要不停找尋創新機會與持續推動,才可因應未來氣候變遷之挑戰與達成公司企業社會責任的使命。 本期季刊選擇「創新技術與綠色製造」為主題,邀請各廠區水氣化專家分享水處理與氣體化學系統在技術品質與節能環保的應用與實務成果。在氣化系統提升技術品質方面,包含利用循環過濾次數強化化學品品質管理、依原物料特性精進混酸品質的分享,與探討特殊氣體品質快篩系統議題;在水處理系統綠色製造方面,多個廠區亦分享在放流水生物急毒性的進展及兩套新系統「硫酸銨乾燥」與「生物處理」運轉經驗與實務。此外,與廠務學院合作,收錄水處理精進技術課程第一期學員之專案報告,以技術理論作實務之分析與探討,分別是 : 廢水降導電度技術探討、有機型鈷於先進製程中水處理的挑戰、新技術水質監測分析儀可行性評估。 特別感謝參與本次季刊的各個廠區同仁,歷經多次文章討論與修正,讓此次季刊能順利完成,過程中感受到大家的用心與對專業的堅持,期待本期技術專文,對廠務水氣化系統能持續朝向品質技術提升與綠色製造的目標邁進。
莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com
范恩祖 E.T. Fan | etfan@tsmc.com
趙樹華 Chris Chao | shchaoa@tsmc.com
孫揚淂 YangTe Sun | YTSUNL@tsmc.com
薛仁猷 J.Y. Hsueh / 陳鏘澤 Tony Chen / 陳勇龍 YungLong Chen / 江世雄 S.H. Chiang / 洪永迪 Eddy Hung
李明利 M.L. Lee / 林韋志 W.C. Lin / 黃昭文 Jau Wen Huang / 歐人華 J.H. Ou / 洪男雄 N.H. Hung / 李昇修 Sean Lee / 王若杰 Rouh-Jier Wang / 洪湘寧 Shiny Hung