首頁 / 分期閱讀 / Vol.40 水氣化系統創新技術與綠色製造之應用與實務
2020.12
Application and Practice of Innovative Technologies and
Green Manufacturing for Water、Gas and
Chemical Supplying Systems
水氣化系統創新技術與綠色製造之應用與實務
Vol.40 / 技術專文
Study of Desalination Technology in Waste-water Treatment
廢水降導電度技術探討
隨著科技發展進步,人們在享受便利與娛樂時,同時也對環境造成一定程度的污染與影響。近年來環保意識抬頭,且為了減低工業廢水排放對生態環境的衝擊,水污染防治改善成為水資源管理中不可或缺的一環。當主要的水質污染指標,如重金屬、氨...

按讚

0

收藏

0
點閱 (77)
Vol.40 / 技術專文
The wastewater treatment challenge of metal-organic compound in leading-edge semiconductor manufacturing technology
有機型鈷於半導體先進製程中水處理的挑戰
為延續摩爾定律,導入低電阻金屬材料成為必然,半導體業並於先進製程10/7nm導入鈷作為應用,鈷具毒性,為國內放流水標準今年新增管制項目之一。目前製程鈷排放90%以樹脂及電鍍回收,剩餘10%為Co-CMP排放,暫以ACF+...

按讚

0

收藏

0
點閱 (39)
Vol.40 / 技術專文
Challenges and Strategies for the Biological Acute Toxicity of Effluents to Daphnia
放流水生物急毒性悠活水蚤的挑戰與對策
現況廠內放流水之H2O2經由過氧化氫酶(Catalase)酵素的降解後,已使得脊椎生物TUa<1.43(Toxicity Unit Acute, TUa)之機率大幅提高,...

按讚

0

收藏

0
點閱 (54)
Vol.40 / 技術專文
Investigation and Improvement of the Biological Acute Toxicity to The Dosing Chemicals from Fab Effluent Water
廢水系統藥劑對放流水生物急毒性探討與改善
隨著環境保護受到國人關注,生物急毒性(TUa)是判斷水質的一項重要指標,目前生物急毒性尚未全部納入科學園區納管法規,台積電在環保的議題始終不遺餘力地提出新的觀點、創新的改善方法 ,讓環境變得更美好,生物急毒性便是值得付出...

按讚

0

收藏

0
點閱 (63)
Vol.40 / 技術專文
The assessment of combining stripping application for IPA wastewater improvement and VOCs waste-heat recovery
以氣提法進行IPA廢水改善評估與VOC廢熱回收展望
半導體製程在晶圓清洗及乾燥程序中使用大量的異丙醇(IPA),因其有機溶劑揮發特性及製程排放廢水衍生丙酮,對各廠區空水污影響甚鉅。半導體廠房因次級用水之回收水量與水質需求,常見以RO膜進行廢水濃縮精煉處理,但經過精煉而產出...

按讚

0

收藏

0
點閱 (99)
Vol.40 / 技術專文
Operation and Maintenance for Crystallization Technology of Industrial Grade Ammonium Sulfate Liquid
硫酸銨乾燥系統運轉實務與維護保養
應用節能的機械式蒸氣再壓縮技術,將30%液態硫酸銨經由蒸發、濃縮再結晶 ,製作成為固態再生資源產品,以物理反應執行,將液體相變化為固體,使體積減少的機制達成減廢,雖原理簡單,但由於高濃度含結晶顆粒溶液,運作特性不同於以往...

按讚

0

收藏

0
點閱 (34)
Vol.40 / 技術專文
Improvement and practice of wastewater biological treatment system operation
廢水生物處理系統運轉精進與實務
隨著半導體製程技術演進,製程機台使用的有機化學品用量大增,且單槽式晶圓濕式清洗機台數量增多,此型式機台排水有混排狀況,因此先進製程廠區面臨廢水排放化學需氧量(Chemical Oxygen Demand, COD)以及氨...

按讚

0

收藏

0
點閱 (46)
Vol.40 / 技術專文
Evolution and Integration of Compressed Air System Energy-Saving Technologies
壓縮空氣系統節能技術演進與整合
我們整合了文獻上的節能技術進行壓縮空氣系統之環境改善、機台改善、控制模式改善,最後導入新的物聯網大數據分析概念,使用Atlas ES360中央控制器進一步程式運算分析配置端緩衝槽壓力數據然後由其動態預測壓力回饋調整供應端...

按讚

0

收藏

0
點閱 (34)
Vol.40 / 技術專文
Comprehend the characteristics of material and enhance the quality of mixing chemical
掌握原物料特性–精進CR168混酸品質
黃光微影製程為半導體製造技術之瓶頸,主要在於現代科技的進步導致線寬的縮限,為了提高晶圓產能及良率,廠區對於原物料供應品質尤其要求。然而許多原物料也因應製程需求添加額外成分(例如 : CR168界面活性劑)連帶影響本身化學...

按讚

0

收藏

0
點閱 (24)
Vol.40 / 技術專文
Management of Chemical Quality– Calculation Model for the Index of Chemical Filtration Times
化學品品質管理–循環過濾次數指標之計算模式
本研究提出兩種新型計算模式,用於計算桶裝化學品供應系統(Drum Unit, DU)的循環過濾次數,分別為概略型估算模式(Rough Estimation Mode, REM)及動態型精算模式(Dynamic Calcu...

按讚

0

收藏

0
點閱 (32)
Vol.40 / 技術專文
ASRS+DHL installation/commissioning/Operational experience
化學品自動化倉儲與高速物流系統建造與運轉實務
長久以來,半導體桶裝化學品倉儲停留在傳統倉儲,大量的人工搬運作業不僅速度慢,化學品傾倒風險也高。惟半導體廠皆是24小時運轉,無法長時間停止產線進行系統升級和連續運轉測試,既有運轉廠區轉型升級成自動化倉儲,卻往往因為空間、...

按讚

0

收藏

0
點閱 (53)
Vol.40 / 技術專文
Management of Waste Chemical from Advanced Process Equipment
先進製程設備機台廢酸排放站前管理
半導體先進製程不斷演進,化學品使用越多元,相對設備機台排放的廢酸越複雜,發生混排的機會越高。本篇研究針對設備廢酸站前排放區分兩大主題 : ①管理層面 ②廠務系統強化,並以某先進製程廠廢液IPA含酸為例,裝機前NTCC及S...

按讚

0

收藏

0
點閱 (56)
Vol.40 / 新象新知
The Feasibility of Using UV254 to Replace TOC/COD Analyzer
水質監測以UV254取代TOC/COD分析儀可行性評估
因應半導體製程日趨進步,傳統總有機碳(Total Organic Carbon, TOC)及化學需氧量(Chemical Oxygen Demand, COD)監測方式分析時間長,較難反映水質的快速變化,本文根據Beer...

按讚

0

收藏

0
點閱 (93)
Vol.40 / 新象新知
Special gas rapid quality detection system
特殊氣體品質快篩系統
半導體先進製程不斷提升下,面臨著如何確保氣體品質以提高產品良率與降低製程成本等問題。針對快篩檢驗鋼瓶氣體品質開發特殊氣體品質快篩系統(Special Gas Rapid Quality Detection System)...

按讚

0

收藏

0
點閱 (108)
主編於中科十五A廠三期四期CDA Room拍攝 攝影/孫揚淂

editor’s column 編者的話

趙樹華 | 中科廠務二部

2020年全球籠罩於COVID-19與中美貿易戰危機,但在全球晶圓代工市場上,隨著5G無線通訊世代加速來臨,與因疫情間接帶動遠距工作、學習、娛樂相關電子需求,因此公司展現業績迭創新高的營運表現,而其中高階先進製程技術領先與生產品質良率更是半導體製造競爭力與優勢的重要關鍵。再者,今年台灣梅雨季短且無颱風登陸,導致豐水期降雨量極少,面臨56年來最嚴峻乾旱,各地水庫水情也拉起警報,創下在10月就將水情燈號轉為黃燈的紀錄;也因此不只是水管理,所有綠色製造的面向,是必須要不停找尋創新機會與持續推動,才可因應未來氣候變遷之挑戰與達成公司企業社會責任的使命。 本期季刊選擇「創新技術與綠色製造」為主題,邀請各廠區水氣化專家分享水處理與氣體化學系統在技術品質與節能環保的應用與實務成果。在氣化系統提升技術品質方面,包含利用循環過濾次數強化化學品品質管理、依原物料特性精進混酸品質的分享,與探討特殊氣體品質快篩系統議題;在水處理系統綠色製造方面,多個廠區亦分享在放流水生物急毒性的進展及兩套新系統「硫酸銨乾燥」與「生物處理」運轉經驗與實務。此外,與廠務學院合作,收錄水處理精進技術課程第一期學員之專案報告,以技術理論作實務之分析與探討,分別是 : 廢水降導電度技術探討、有機型鈷於先進製程中水處理的挑戰、新技術水質監測分析儀可行性評估。 特別感謝參與本次季刊的各個廠區同仁,歷經多次文章討論與修正,讓此次季刊能順利完成,過程中感受到大家的用心與對專業的堅持,期待本期技術專文,對廠務水氣化系統能持續朝向品質技術提升與綠色製造的目標邁進。

發行人 Publisher

莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com

總編輯 Editor in Chief

范恩祖 E.T. Fan | etfan@tsmc.com

主編 Editor

趙樹華 Chris Chao | shchaoa@tsmc.com

美術主編 Art Director

孫揚淂 YangTe Sun | YTSUNL@tsmc.com

編輯顧問 Editorial Advisory

薛仁猷 J.Y. Hsueh / 陳鏘澤 Tony Chen / 陳勇龍 YungLong Chen / 江世雄 S.H. Chiang / 洪永迪 Eddy Hung

編輯委員 Editorial Board Me mbers

李明利 M.L. Lee / 林韋志 W.C. Lin / 黃昭文 Jau Wen Huang / 歐人華 J.H. Ou / 洪男雄 N.H. Hung / 李昇修 Sean Lee / 王若杰 Rouh-Jier Wang / 洪湘寧 Shiny Hung