儀電

機械

水氣化

專案管理暨廠房

新工規劃

新工設計/技術

新工工程/品質

公共設施

年報

首頁 / 分期閱讀 / Vol.15 新世代晶圓廠的施工與管理
2014.9
Advanced Construction Management for New Wafer Fab
2014.9, Vol.15 / 技術專文
Optimal Construction Procedure for Fab Superstructure
廠房土建工程最適工序探討
文 | 李宗軒 | 新廠營建部 |
廠房上部結構是由鋼結構、鋼筋混凝土(RC)結構及鋼骨鋼筋混凝土(SRC)結構所組成，鋼結構為廠房建築物的骨幹架構，而RC結構是最主要無塵室生產區域，SRC結構則為無塵室迴風道之區域，因此整體的施工工序如何安排，能夠...

按讚

0

收藏

0
點閱 (67)
2014.9, Vol.15 / 技術專文
Selection of Water Proofing Method and Quality Verification for Water Tank
製程水箱防水施作工法的選定與品質驗證
文 | 趙婉宇 | 黃文彬 | 王世民 | 十二廠七期新建工程專案 |
有鑑於過去許多既有廠區之製程水箱皆採用彈性水泥防水工法，其日後水箱漏水情況持續發生，維修不易且麻煩；因此採用防水性更好的防水工法成為必要的趨勢。本文將舉出幾種常見之防水工法說明其工序與優缺點，並比較其中差異，最後再...

按讚

0

收藏

0
點閱 (30)
2014.9, Vol.15 / 技術專文
Grounding Damage Investigation and Improvement Analysis
破損地網接地改良探討與驗證分析
文 | 馮智賢 | 十二廠七期新建工程專案 | 李承穎 | 十二廠七期新建工程專案 | 簡肇能 | 集集電工 |
接地系統是科技晶圓廠安全運行的重要基礎，不僅為廠內各項設備提供電位參考點，在電力系統發生事故/雷擊或干擾時，能夠迅速提供接地電流宣洩路徑，以保障機台及人員安全。本文將針對某一特殊案例：即在已施作完成建築基礎上，因結...

按讚

0

收藏

0
點閱 (50)
金筆獎
2014.9, Vol.15 / 技術專文
Application of Non-destructive Detection for Building Construction
非破壞性檢測在土建工程的應用
文 | 宋思賢 | 新廠營建部 | 張嘉峰 | 財團法人臺灣營建研究院 |
現今對於混凝土強度之評估仍是採用圓柱試體的抗壓試驗結果為依據，然而圓柱試體的強度在標準製作程序與良好養護條件下，品質通常較現場澆置之結構體為佳，因此無法反應出現場施工方法對混凝土品質之影響； 為此，本文透過反彈錘與...

按讚

1

收藏

1
點閱 (87)
2014.9, Vol.15 / 技術專文
Damage-Limiting Construction Designs and Practices
損害限制結構設計與實務
文 | 蔡金廈 | 工程品質暨安全管理部 | 沈慶豐 | 潘冀聯合建築師事務所 |
半導體廠對風險集中的儲存區與配送區，需透過規劃設計，在可能的爆炸災害發生時，適切的圍堵並引導危害物質與能量，宣洩到相對安全的戶外，以降低危害的風險，減少損失，這種同時具有抗爆與洩爆功能的結構，即稱之為損害限制結構，...

按讚

0

收藏

0
點閱 (74)
2014.9, Vol.15 / 技術專文
Application of 5D System for New Fab Construction
5D系統在建廠實務應用的探討
文 | 賴慶鴻 | 新廠營建部 |
新工處導入5D軟體來輔助建廠已歷經十餘件專案，本文主要探討建廠階段在導入5D後的作業流程與傳統流程的差異。文中說明將以5D的作業流程為主軸，並針對5D與傳統做法的差異做進一步的分析，最後以表列方式彙整各項差異，並對...

按讚

0

收藏

0
點閱 (26)
2014.9, Vol.15 / 技術專文
Procedure Optimization for HPM External Ducts Construction
HPM外部管路區施工工序最佳化探討
文 | 范植賢 | 溫閎元 | 文黃瑋 | 十二廠七期新建工程專案 |
半導體晶圓代工業競爭日趨激烈，除了高良率的要求外，是否具有足夠產能以隨時滿足客戶的需求亦是競爭力的重要關鍵。在新建廠房的施工過程中，工程施作的品質與工期進度的快慢對於新廠房何時可投入生產影響甚大，唯有以最佳工序工法...

按讚

0

收藏

0
點閱 (43)
2014.9, Vol.15 / 技術專文
Application of Plug-in Type Power Panel
隨插即用施工電盤的應用
文 | 劉明芳 | 新廠營建部 |
傳統式電盤都是採用開盤接線方式，增加人員碰觸帶電體及誤接線的風險；而施工電源都是先規劃土建需使用的部分，等機電包進來再拉設一次電源給所有平行包使用，同樣的電源要拉設兩次，除了線路多拉設一倍造成資源浪費之外，也增加管...

按讚

0

收藏

0
點閱 (27)
2014.9, Vol.15 / 技術專文
Practices to Improve the Quality of Wastewater Treatment Systems
廢水處理系統工程品質提昇應用實務
文 | 傅正貴 | 鄭守義 | 十四廠七期新建工程專案 |
隨著半導體製程日漸精密，產生的廢水有多元及複雜化的趨勢，加上環境保護意識抬頭，建立高品質之廢水處理系統就相對重要，本篇文章首先分析歷年來新建廠施工品質缺失及分類，進而找出可行及有效的改善對策，從『人、機、料、法』四...

按讚

0

收藏

0
點閱 (41)
2014.9, Vol.15 / 技術專文
Quality Examination and Assurance of Raised Floor
高架地板品質檢測與驗證
文 | 趙樹華 | 工程品質暨安全管理部 |
無塵室為晶圓廠生產的必要環境，高架地板提供無塵室內設備機台及人員操作生產的完整空間，為構成無塵室重要系統之一，因此高架地板品質檢測與驗證程序特別重要，以確認提供整體晶圓廠生產的標準環境。高架地板驗證程序包含：高架地...

按讚

0

收藏

0
點閱 (55)
2014.9, Vol.15 / 技術專文
Airborne Molecular Contamination Monitoring Technology for New Fab Cleanroom Construction
新建廠潔淨室氣態分子汙染監控技術之應用實務
文 | 黃裕欣 | 李建國 | 蘇鈺洲 | 十四廠七期新建工程專案 |
本文以建廠期間極具代表性的黃光區為例，說明兩項主要污染物氨(NH3)和總有機碳(TOC)，如何應用監控儀器配合各種空氣分子汙染(Airborne molecular contamination, AMC)之去除設備...

按讚

0

收藏

0
點閱 (33)
金筆獎入圍
2014.9, Vol.15 / 技術專文
Auto Gas Tungsten Arc Welding and Inspection Guidelines
金屬管線氬銲自動銲接實務與銲道規範
文 | 劉士豪 | 詮特科技公司 | 黃煒添 | 工程品質暨安全管理部 | 趙樹華 | 工程品質暨安全管理部 |
半導體產業之高潔淨金屬管線銲接，主要以氬銲(GTAW)為主，並已廣泛用於製程氣體管線銲接。本文針對金屬管線自動銲接原理、氬銲自動銲接種類、銲接實務與操作參數、銲接品質管理實務及銲道品質檢查等進行探討。...

按讚

0

收藏

0
點閱 (78)
2014.9, Vol.15 / 新象新知
Applications of Nanotechnology on Carbon Dioxide Capture and Sequestration
奈米科技應用於二氧化碳捕集與封存技術
文 | 劉雅瑄 | 國立台灣大學 |
世界各國由制度、法規及經濟層面著手控制人類工業活動過程中排放的二氧化碳，除了替代能源的開發，二氧化碳捕集與封存(Carbon Dioxide Capture and Sequestration, CCS)在世界各國...

按讚

0

收藏

0
點閱 (31)
2014.9, Vol.15 / 新象新知
WAN 3D Satellite Warning System Architecture and Function Introduction
衛星3D廣域預警系統架構及功能介紹
文 | 張清淦 | 新廠營建部 | 陳晉德 | 西門子股份有限公司 |
要如何有效保護企業內的重要設施一直是多數業主所看重的議題之一，特別是大範圍設施，例如：港口、機場及工業設施（發電廠、資料中心、科技廠房、石化產業），要執行安防監控更是難上加難。目前多數防護措施均以增加警衛、攝影機以...

按讚

0

收藏

0
點閱 (41)

editor’s column 編者的話

范恩祖 | 新廠營建部

隨著先進製程技術的快速演進，對新建廠房的相關需求也日益更新。即使在前期已歷經完整的規劃與設計階段，到了施工時期，仍難免還是有些許不足以及持續改變與新增的需求，由於新廠營建部(NFCD)是新工處在建廠過程中的最後一棒，因此要能夠概括承受，並盡其所能建造一座完整的廠房，讓後續接手的工廠人員能順利的營運及生產。 當然一個成功的新廠工程並不僅是如期完工而已，更重要的是能在安全的前題之下完成符合品質要求的廠房，此時品質暨安全管理部(QSMD)即扮演著重要的角色，適時的提供專業諮詢與獨立的稽核，導正廠房在施工過程中的所可能產生的遺漏與偏差。透過這二個部門的合作，方能讓新建廠房工程得順利進行並如期如質完成以滿足各方所需。 本期季刊共收錄十四篇文章，由NFCD及QSMD共同創作，並包括二篇外部邀稿。文章以新建廠房施工與管理為主軸，範圍涵蓋新廠各專業領域的新工序、新工法、新技術的應用、施工管理經驗分享、品質與安全的管理及應用實務等，完整呈現二個部門同仁在過去這段時期的心血結晶及未來努力的方向，內容豐富多元，每一篇都值得細細品味也希望讀者們會喜歡。 新建廠房可說是公司營運的先期指標，當公司在先進製程持續領先開發，業績蒸蒸日上之際，對新廠房的需求將源源不絕。為此，新工處的每一分子也必須要在各方面力求精進，以不辜負公司所交付的使命。

發行人 Publisher

莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com

總編輯 Editor in Chief

黃昭文 Jau Wen Huang | jwhuanga@tsmc.com

主編 Managing Advisory

范恩祖 E.T. Fan etfan@tsmc.com
黃偉裕 Cronus Huang | cronus_huang@tsmc.com

編輯顧問 Editorial Advisory

洪永迪 Eddy Hung / 鍾振武 Chenwu Chung / 丁瑞華 Howard Ting / 于 淳 Chwen Yu

編輯委員 Editorial Board Members

林素芬 Sophie Lin / 馮智賢 Johnson Feng / 鄭昭平 Tim Cheng / 謝振友 Cheng Yu Hsieh / 賴光亮 K.L. Lai / 黃文彬 Wen-Pin Huang / 葉國安 Tom Yeh / 蘇鈺洲 Y.C. Su / 許晉榮 C.J. Hsu / 黃煒添 W.T. Huang

美術主編 Art Director

洪湘寧 ViGi Hung | vigi_hung@tsmc.com

攝影 Photographic Editor

洪湘寧 ViGi Hung | vigi_hung@tsmc.com