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2017.12
Vol.28 / 技術專文
New Fab Earth Anchor with Grid Design Construction and Quality Management
新建廠格樑地錨設計施作與品質驗證
中科擴建廠區以「格樑預力地錨」作為邊坡擋土防護設施(台積電首次採用),此工法廣泛用於台灣地區邊坡防護工程,其優點為造價合理、工期較短且可做整體景觀綠化。本案從設計初期地質資料收集、擋土地錨設計、設計驗證(電腦軟體模...

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點閱 (179)
Vol.28 / 技術專文
The Underground Pipe Arrangement of Taichung Site Hillside Land
中科擴建廠區山坡地地形外管線整合
為了持續推進先進製程,公司於2015年第二季正式動工中科擴建廠區,此基地位於台中市大肚山東側山坡,前身為國防部彈藥庫使用,對比過去取得的土地,雖然同屬於科學園區,但因為截然不同的基地特性使得開發難度增加,中科擴建廠...

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點閱 (73)
Vol.28 / 技術專文
Environmental Impact Assessment Practice
淺談環境影響評估制度及實務
《環境影響評估法》是環境保護制度中相當重要的一項法規,其創始源自美國1969年國家環境政策法,目前全世界有超過100個國家參考,各國依據自己執行經驗回饋,發展出各國的環境政策並滾動式修正,台灣因其時空背景所發展出的...

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點閱 (83)
Vol.28 / 技術專文
Discussion of Public Hazardous Materials Examination Practice - Example of Taichung Science Park
公共危險物品圖審勘驗實務探討 - 以中科擴建廠為例
國內現行消防法規主要係依據日本消防相關法規引用而來,法規條文內容簡略且分散,各廠區於新建時,負責之廠區製程與庫房人員也隨之更動,因此不瞭解自己的職責,導致實務上遭遇許多挑戰。公共危險物品(後續簡稱公危)審勘重點在於...

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Vol.28 / 技術專文
Fab & HPM Area Construction Procedure and Management
廠房無塵室與危害性物質放置樓層之工序與施工管理
晶圓廠廠房之新建工程中,包含了土建結構、內裝、無塵室、機械、電力、監控、裝修、氣體、化學、純水、廢水等數十項工程,廠房內的管線分佈綿密、工項繁瑣且複雜。若沒有有效的管理方法,就會造成不同系統間的管路干涉、與施作空間...

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點閱 (43)
Vol.28 / 技術專文
Study on Civil Engineering of New Fab in Nanjing
南京新建廠土建工程之探討
本文章說明南京建廠所看到與紀錄之南京地區建築行業,在專案管理與工法上之特性,進而與台灣進行差異的比對,主要針對發包模式、施工方法與工序、品質、設計圖面作為觀察重點,在南京這大開大闔與專案眾多之建築施工風氣下,衍生出...

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點閱 (106)
Vol.28 / 技術專文
Space Management Challenge for Nanjing Project
空間管理在南京建廠面臨到的挑戰
空間管理工作在新建廠中負責整合各種系統管路及設備,進行合理的安排,使各種管路整齊、美觀的配置於廠房內,且能在施工過程中避免管路干涉,減少返工修改及各種資源的浪費,達到降低施工成本及提高工作效率的目的。本文整理了南京...

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點閱 (52)
Vol.28 / 技術專文
The Faster Installation Method for PCW Hookup
精進速度的製程 冷卻水系統安裝工法
隨著公司產能建置越來越快,裝機任務能否順利達成取決於廠商人力與施工效率兩大因素,但目前廠商專業人力常無法滿足大量裝機需求。其中製程冷卻水( PCW)系統安裝,遭遇最大問題就是專業銲工人力的短缺,因專業銲工人力的培養...

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點閱 (62)
Vol.28 / 技術專文
Machine Engineering Data Analysis Processing Technology
機台工程資料分析預先處理技術
隨著製程微型化演進,任何細小的參數變化皆會影響製程的良率與機台效能。製程研發階段時,機台端及廠務端有即時偵測系統進行製程環境及供應系統參數監測,但是在兩者之間的裝機管路沒有即時監測系統或使用機械式元件,當產品有異常...

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點閱 (49)
Vol.28 / 技術專文
Introduction of EUV Foundation Installation
談極紫外光微影掃描設備基座安裝
現今半導體先進製程產業已是不進步就是退步的高度競爭之中,隨著產品愈來愈精密,設備機台對於安裝環境的需求也相對愈來愈高。以基座(Foundation)而言,從一開始的載重需求至微振動需求,進而增加剛性的需求,每一個需...

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點閱 (68)
Vol.28 / 技術專文
Recycled Material Activation of Disconnection Tool
拆移機資產活化再利用
近年半導體製程演進快速,調整機台配置(layout)以滿足產能需求已成常態,加上廠區無塵室(fab)空間有限,進而衍生大量拆移機發生,統計2016年1月至2017年12月,新竹及台南廠區約2,000多台拆移機,其中...

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點閱 (64)
Vol.28 / 新象新知
Application of Bi-directional Grid-tied Energy Storage Technology
電力儲能技術的應用
由於綠色能源的應用、極端氣候因素,白天氣溫異常偏高,電力尖峰需求量大增造成電力系統調度困難。電力儲能技術,可解決電力尖峰時段電力短缺、孤島型電力系統電力需求、降低綠能發電不穩定對系統的衝擊等問題,成為近來電力系統相...

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中科十五B 廠東側戶外植生牆 攝影/ 洪湘寧

editor’s column 編者的話

呂孟倉 | 新廠工程管理部

在廣袤的南科基地上,十餘台巨大樁機將一根根基樁植入大地,為支撐日後新廠房基礎。同一時間,台中擴建區,運土車川流不息,配合挖土機不停運作,為即將到來的建廠整理基地。這就是近10年來,建廠的日常,馬不停蹄、年復一年。雖是年復一年的為新產能、新製程充當先鋒,但隨著台灣土地資源珍稀,及新製程技術的引入,建廠挑戰也在不斷提升,如何汲取過往經驗,並提升團隊及個人能力,迎接明天的挑戰,是全體300mm FD成員的重要課題。 本期「新世代廠房營建管理」新象新知,集結了近年來在新建廠專案及裝機工程上的相關主題共十一篇,新建廠範疇有七篇。〈新建廠格樑地錨設計施作與品質驗證〉針對首次在山坡地的建廠專案,面對特殊地形因素,大規模設置格樑擋土牆在設計及品質查核上的整理。〈中科擴建廠區山坡地地形外管線整合〉,則是討論在非平整的基地上,面對基地環境、山坡地坡度,與公共工程同時開發等挑戰,設計及工程團隊如何提出解決方案。中科的特殊環境及區域特性,在整個建廠過程中都耗費大量資源及時間,克服重重難題。〈淺談環境影響評估制度與實務〉及〈公共危險物品圖審勘驗實務探討─以中科擴建廠為例〉兩篇,整理珍貴的經驗資料,非常具有參考價值。〈廠房無塵室與危害性物質放置樓層之工序與施工管理〉,對於每個建廠專案中的必然要徑,如何在緊迫且高張力環境下,以事先良好規劃與管理措施,做到「不疾而速」。 2017年另一個令人矚目的大型專案就是南京的新建廠,本期也收錄了兩篇〈南京新建廠土建工程之探討〉及〈空間管理在南京建廠面臨到的挑戰〉,則紀錄在遠離熟悉的環境,面對看似相同但實際差異很大的環境中,如何溝通、調整,最後完成任務的歷程。 當新建廠告一段落,主要資源陸續退場之際,另一支隸屬300mm FD的裝機團隊就接手上場。本期也收錄四篇裝機工程的專文:〈精進速度的製程冷卻水系統安裝工法〉,敘述裝機工程團隊,面對工期被壓縮、施工人力短缺的情況下,藉由關注引進新市場資訊與新工法,找出突圍之路。〈機台工程資料分析預先處理技術〉,隨著資訊化及大數據的潮流,廠務系統也要與時俱進,如何改變既有框架,創造新架構,滿足生產管理上的需求。EUV這個字眼不時占據財經及科技專欄的版面,而要迎接這跨世代的技術,裝機團隊也要改變原有做事方法。〈談極紫外光微影掃描設備基座安裝〉,分享了在此一過程中裝機提升了自身能力。〈拆移機資產活化再利用〉,則是裝機團隊回頭處理過往遺留未處理的問題。 除此之外,本期還收錄了一篇新知〈電力儲能技術的應用〉,在這節能減碳高唱入雲霄,核能爭議不休與限電陰影迫近之際,此一新知分享,介紹在電力供應上的新技術發展。 最後,還是要感謝每一位為本期季刊貢獻心力的同仁。在百忙之餘,仍花費心力整理資料,分享傳承。

發行人 Publisher

莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com

總編輯 Editor in Chief

范恩祖 E.T. Fan | etfan@tsmc.com

主編 Editor

呂孟倉 Meng-Chang Lu | mcluc@tsmc.com

編輯顧問 Editorial Advisory

薛仁猷 J.Y. Hsueh / 陳鏘澤 Tony Chen / 陳勇龍 YungLong Chen / 江世雄 S.H. Chiang / 洪永迪 Eddy Hung

編輯委員 Editorial Board Members

李靜怡 Marie Lee / 林素芬 Sophie Lin / 鄭昭平 Tim Cheng / 李明利 M.L. Lee / 許天賜 Alex Hsu

美術主編 Art Director

洪湘寧 ViGi Hung | vigi_hung@tsmc.com