首頁 / 分期閱讀 / Vol.32 安全健康環保與緊急應變發展的現在和未來
2018.12
安全 健康 環保與緊急應變
發展的現在和未來
金筆獎入圍
Vol.32 / 技術專文
Risk Control for Preventive Maintenance Work of Equipment Engineer in Semiconductor Manufacturing Plants
半導體廠區員工維修保養作業暴露風險管控
以傳統勞委會公告之作業環境監測方法進行半導體作業人員化學品暴露評估,結果多為未檢出,且無法得知污染物即時暴露實態及作業過程危害因子。為釐清人員暴露及機台維修保養可能產生副產物,必須有不同採樣分析策略。本文運用不同類...

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Vol.32 / 技術專文
The Discussion of Arsenic Compounds Measurement in Exhaust of Local Scrubber
砷尾氣處理設備量測方法探討
砷化氫為半導體業製程氣體,具有毒性及致癌性,反應殘氣由機台排出後,進入吸附式尾氣處理設備處理,去除效率則以砷化氫偵測器確認,經過處理的尾氣會再經過中央濕式洗滌塔後由煙囪排出。處理過程中,部分砷化氫轉化為固態砷化物,...

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Vol.32 / 技術專文
A Case Study on Improvement to Mixed Acid Exhaust System for New Process Tools
先進製程酸性排氣混排改善對策探討
隨著公司近年來陸續進入先進製程,使用的氣體及化學品種類變得更多,生產過程也變得更複雜,衍生出排氣煙道中有混排及白煙問題,顯示既有系統已無法完全妥善且有效的處理製程廢氣。本文使用半定量及定量儀器進行採樣,鑑別出酸性排...

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Vol.32 / 技術專文
Remediation of Soil Pollution in Semiconductor Facility
半導體廠房土壤污染整治
台積電先進封測三廠為公司首次跨產業、坐落桃園市並與合作客戶收購廠房,進行土地移轉時,依法應提供土壤污染檢測資料,執行全廠區及重點區細部土壤檢測。經XRF篩測後發現,碼頭區受重金屬鉻、汞、鎳污染,且污染集中於 1 公...

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Vol.32 / 技術專文
Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid
廢硫酸去除雙氧水系統 安全防護提升
本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗,評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...

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Vol.32 / 技術專文
Safety Management for EUV Tool
超紫外光機台 全方位安全管理
超紫外光(EUV)為半導體製程持續微縮並延續摩爾定律(Moore's law)的新世代微影技術,亦是台積公司能持續保持先進製程技術領先的關鍵設備,EUV造價昂貴且使用大量具極度易燃特性的氫氣(Hydroge...

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Vol.32 / 技術專文
Risk Analysis and Coping Strategies for Pyrophoric Material in Usage of Semiconductor Manufacturing Plant
發火性物質運轉風險與安全對策
半導體製程陸續使用越來越多發火性物質於生產過程中,此類發火性物質大部份兼具禁水特性,於異常洩漏時遇空氣自燃且接觸水會產生非常劇烈反應。本研究應用HazOp風險分析方法及參考SEMI-5761B草案規範,針對使用發火...

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Vol.32 / 技術專文
Reinforcement of Lock out / Tag out Procedure and Its Implementation
談上鎖掛牌程序的強化及執行方式
為維護作業的安全,常以工程控制、作業程序與防護具等方式進行,過去上鎖掛牌僅於高風險作業執行。文獻指出,上鎖掛牌程序阻斷危害源,可降低作業產生的風險,如化學品供應端閥件、電源供應元件等。本計畫採以下流程進行 : (1...

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點閱 (130)
Vol.32 / 技術專文
Flood Control Strategies of Plants in Southern Taiwan Science Park
南科防洪策略
南科地區在2009年莫拉克風災時,出現超過200年重現期的降雨量,當時廠房雖未淹水受損,但從風險預防及營運持續管理的角度,我們希望具體量化洪水風險,檢討對應的改善措施,並建立預防機制。考量氣候變遷可能惡化極端氣象條...

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Vol.32 / 技術專文
Strategies and Countermeasures for Emergency Response in Magnitude 6 Earthquake
六級強震巨災應變對策
地震為發生機率高且不易預測之天災,近幾年陸續於全球各地出現六級以上強烈地震;且強震對半導體廠造成之傷害極大(包含人員安全與生產中斷),因此如何面對這麼巨大的天然災害,並於第一時間做好緊急應變,固守人員安全並快速回復...

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點閱 (145)
Vol.32 / 技術專文
E-Management of Emergency Response Center and Its Application
緊急應變中心電子化管理與應用
緊急應變中心(ERC)在半導體工廠乃至所有企業是至關重要的一個機構,處理異常時需要借助的資源多、器材多、人力多,且遍佈廠區。若開發電子化的管理系統,輔助異常緊急應變,必能產生可觀效益。為此,經由ISEP、IT等部門...

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Vol.32 / 新象新知
The Challenge and Coping Strategies of Hazardous Chemical Exposure Assessment and Control Banding in High-tech Industries
高科技業危害性化學品暴露評估及分級管理制度面臨之挑戰與因應策略
高科技產業先進製程繁複且變化快速、使用化學物質多,其中並非所有危害性化學品皆具容許濃度標準,而具容許濃度也有可能無建議採樣方法,且環測數據多為未檢出,因而在技術、經費與人力需求上,無法單純使用作業環境監測來解決。如...

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中科十五B 廠ERC 緊急應變中心 攝影 / 洪湘寧

editor’s column 編者的話

吳榮泰 | 十五B廠工安衛生部

2018年1月19日,在莊子壽資深處長的主持下,開始了今年第一次的ISEP TB月會,各廠工安環保部部門主管對於台積電未來的工作方向進行深刻且具想像力、影響力的討論。 會議中,宏章提議工安環保部的同仁能以《廠務季刊》將同仁在廠區的工作呈現給對工安環保有興趣的廠區同仁,藉此機會表彰工安環保工程師的努力及成果,也讓廠區同仁了解目前台積電在「工安、環保」工作方向。這就是本次季刊的起源。 「建構最佳健康職場,成為世界級安全衛生標竿企業」及「促進環境永續,成為世界級環境保護標竿企業」是台積電在安全、衛生、環保政策的願景。而台積電五百多位 ISEP 同仁除了讓同仁能在安全的環境中快樂的工 作外,同時依循法規、環評承諾監督廠區的污染排放量、濃度,以達世界的環保標竿為目標。 工安環保部的工作舉凡日常的安全管理到人員健康曝露、機台設備安全評估、危害物質管理、污染物排放監測、緊急應變及工廠損害防阻,都將呈現於本期的內容中。摘要內容,隨健康風險意識抬頭,本期特別邀請國 立成功大學工業衛生學科暨環境醫學研究所蔡朋枝教授,探討高科技業危害性化學品暴露評估及分級管理制 度,為同仁帶來暴露評估的新觀點及未來面臨的挑戰;期刊中在健康方面主題還有員工維修保養作業暴露風險 探討,運用既有可攜式偵測器,以其低偵測下限及連續監測的特點,量測作業暴露風險,補足傳統作測缺點。 而在安全方面主題有超紫外光機(EUV)安全管理、發火性物質運轉風險與安全對策及廢硫酸去除雙氧水系統 安全防護討論等主題,於此我們整理上述系統運轉經驗提出防護方向及對策;此外,以單篇文章分享於作業時 加入上鎖掛牌程序的重要性及執行經驗。環境保護精進的主題有討論砷尾氣處理設備量測方法探討,除既有監 測器外,以作業環境監測方法測量,檢核處理效率,評估處理設備的耗材年限;先進濕蝕刻製程因廢氣混排衍 生出的白煙問題,討論混排原因及因應改善對策;土壤污染整治以封測三廠為例提供經驗予以分享。在損害防 阻及緊急應變主題方面,有南科的地震及防洪應變對策、中國廠區的緊急應變中心電子化,內容非常豐富。 特別感謝來自新竹、台中、台南還有中國廠區的工安環保部同仁,歷經多次的會議,決定主題、調整內容,透 過同仁全心的參與,才能完成這期季刊,各篇論文都展現了專業的一面。正如前期預告所提「他山之石,可以 攻玉」,希望我們都可以汲取過往的經驗,使台積電成為一個更安全、更健康、更環保的公司。

發行人 Publisher

莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com

總編輯 Editor in Chief

范恩祖 E.T. Fan | etfan@tsmc.com

主編 Editor

吳榮泰 Rong-Tai Wu | rtwu@tsmc.com

美術主編 Art Director

洪湘寧 ViGi Hung | vigi_hung@tsmc.com

編輯委員 Editorial Board Members

李靜怡 Marie Lee / 林素芬 Sophie Lin / 鄭昭平 Tim Cheng / 吳明哲 Mike Wu / 彭成柱 C.C. Peng / 楊水定 S.D. Yang / 林春慶 T.C. Lin / 吳宏章 H.C. Wu / 陳國豐 K.F. Chen / 溫明謙 M.C. Wen / 李鳳笙 F.S. Lee / 王俊元 Jimmy Wang / 曾恒毅 Heng-Yi Tseng / 陳仁仲 J.C. Chen / 孫茜 Tracy Sun / 蘇鈺洲 Y.C. Su

編輯顧問 Editorial Advisory

薛仁猷 J.Y. Hsueh / 陳鏘澤 Tony Chen / 陳勇龍 YungLong Chen / 江世雄 S.H. Chiang / 洪永迪 Eddy Hung