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年報

首頁 / 分期閱讀 / Vol.03 New Methods & New Thinking for New Fab
2011.7
NEW METHODS &
NEW THINKING
FOR NEW FAB
To Intrtoduce New Methods and
Management Models Applied for tsmc's
Latest Fab Construction
2011.7, Vol.03 / 特別企劃
Giga Fab15 - a Sustainable Building
創新設計 - 超大晶圓廠十五廠永續建築
文 | 賴敏政 | 規劃管理部 |
台積中科15廠第三座Giga Fab，也是台積電所擘畫的另一段美好的延伸，醞釀許久的中科廠在2010年7月15日正式動土,時間才剛過不久，2011年5月12日正式進入移機階段，在這300天的一點一滴，只有往前絲毫沒...

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點閱 (81)
2011.7, Vol.03 / 特別企劃
Using Welding Parameters, Empirical Rules and Critical Path Method to Manage the Installation of PVDF/PP Piping System in a UPW System
利用系統化的施工數據及要徑法，管理純水系統中PP及PVDF配管工程
文 | 丁瑞華 | 十二廠六期專案 |
利用系統化的施工數據分析及專案管理模式，管控純水系統專案中大量安裝之聚偏二氟乙烯管線 (polyvinylidene fluoride; PVDF) 及聚丙烯 (polypropylene; PP) 管線工程，使能...

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點閱 (68)
2011.7, Vol.03 / 特別企劃
Exhaust Damper Improvement, Development and Application in New Fab Construction
排氣系統風門型式發展與新建廠區之應用
文 | 姚文淙 | 十二廠六期專案 |
在廠務排氣系統的建置過程中，風門與風管為主要的構成元件。若以去年新建完成之十四廠四期廠區為例，整個排氣系統的建置總排氣量，約為3,000,000CMH，其中風管的材料使用總量，達到30,000平方公尺以上。若單就風...

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點閱 (44)
2011.7, Vol.03 / 特別企劃
General Introduction of Smart Device Diagnosis to Improve Process Efficiency Management
由控制閥診斷談製程效能管理
文 | 鄒李達 | 十五廠二期專案 |
儀錶製造的技術及功能近年來因IC研發及製程的進步而日新月異，近十年來各大控制廠商也陸續設計出智能儀錶(Smart Device 或Intelligent Device)。而儀錶設備如何應用在製程生產讓控制生產更加穩...

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點閱 (31)
2011.7, Vol.03 / 特別企劃
Liquid Helium Supply System Implement Evaluation
液態氦氣供應系統導入TSMC評估
文 | 洪舜立 | 十二廠六期專案 |
液態氦氣供應系統能兼顧品質、供應來源充足、節能省碳及降低工作Loading等多重功效，本文說明液態氦氣供應系統與氣態氦氣供應系統之差異並對建立長期穩定的氦氣供應系統提出分析，藉此整合採購、廠務風險管理及製程同仁們的...

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點閱 (35)
金筆獎
2011.7, Vol.03 / 技術專文
TSMC Hsinchu, Taichung and Tainan FAB Acceleration Scale Factor During Earthquake and Damper Design Concept
竹科、中科、南科FAB地震放大倍率與阻尼器減震策略
文 | 栗正暐 | 群策工程顧問公司 | 陳錦村 | 研究專案部 | 賴敏政 | 專案管理部 |
隨著TSMC產能的進一步擴展，生產基地已經擴展到台灣三個主要的科學園區，然而，台灣本島是個地震高風險區域，斷層的分佈可以說是遍及全島，任何一個斷層的活動都可能造成全台的震撼，對於擁有高精密製程的半導體廠房來說，傳統...

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點閱 (136)
2011.7, Vol.03 / 技術專文
Application of ASHRAE 52.2 Air Filter in USGBC LEED-NC
ASHRAE 52.2空氣濾網在美國綠建築LEED-NC的應用
文 | 呂坤福 | 研究專案部 |
由於國家政府及企業不斷的向外尋求資源或產品，在國際交通網路便捷性不斷的提昇下，跨國性貿易行為正蓬勃發展，從已開發國家、開發中國家並延伸至未開發國家。為確保合約雙方對產品品質及性能達成共識，共通標準遂應運而生，空氣濾...

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點閱 (49)
2011.7, Vol.03 / 技術專文
Passive EMI Shielding Approach for CDSEM
以被動屏蔽(passive shielding)方式解決CDSEM受低頻磁場干擾之案例
文 | 于淳 | 研究專案部 |
在第一期的新工季刊中，曾介紹關於電子束作業機台受低頻磁場干擾與防治的相關理論和方法，本期筆者將以在F12P4 跟微影設備工程師一同用被動屏蔽來解決受低頻磁場干擾的CD-SEM為例，與大家經驗分享。...

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點閱 (39)
2011.7, Vol.03 / 技術專文
Exhaust Monitoring System Study and Design
廠務排氣監控系統探討與設計
文 | 李文振 | 新廠設計部 |
AAS(Air Abatement System)是半導體晶圓廠生產所必需的重要系統，必須考量許多因素以符合各項運轉需求，如安全控管、空間運用、系統容量設計及運轉操作維修等等，故於建廠階段就必須將所有相關因素納入設...

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點閱 (50)
2011.7, Vol.03 / 技術專文
Office Building Indoor Environment Quality Improvement
辦公室室內環境改善方向探討
文 | 馬匡偉 | 公共設施服務部 |
由於工商業時代的工作型態，再加上環境的影響，使得人們待在密閉的居住空間或是辦公空間的時間越來越多，但在這些密閉空間裏享受空調系統帶來的舒適便利之餘，如果對空調及通風系統不加以留意的話；「病態建築物症候群」（SBS；...

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點閱 (57)
2011.7, Vol.03 / 特別企劃
FAB12 Family (P1/2.P4/5.P6.P7) Giga-Emergency Power Plant
如何建置大十二廠高壓電力備援系統
文 | 曾韋然 | 十二廠六期專案 |
電力系統能提供穩定及足夠的供應電力，是讓公司生產運作之最基本的原動力。如何建置一個穩定可靠的電力系統？將是我們的任務。十二廠P1/2,P4/5,P6,P7 四個廠區以地理位置的優勢，整合所有電力系統資源...

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點閱 (66)
2011.7, Vol.03 / 技術專文
Using ‘TransMembrane ChemiSorption’ (TMCS) for Ammonia Removal from Industrial Waste Waters
以中空絲膜取出廢水中的氨氮
文 | Maria Stasiak | Membrana GmbH | Martin Ulbricht | Membrana GmbH | Jurgen Schneid | Membrana GmbH | Jorge Munos | Membrana Charlotte | Amit Sengupta | Membrana Charlotte | Beth Kitteringham | Membrana Charlotte | Fred Wiesler | Membrana Charlotte | 李玫 | 新廠設計部 | 王義信 | 新廠設計部 |
The extraction of ammonia using membrane contactors provides several advantages in solving a common problem...

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點閱 (45)
2011.7, Vol.03 / 新象新知
Let’s talk about Tablet PC and application in new FAB project
淺談平板電腦的技術發展於建廠專案應用的可能性
文 | 林宥芯 | 規劃管理部 |
來自全錄帕洛阿爾托研究中心的艾倫•凱（Alan Kay）在60 年代己提出了一種可以用筆輸入的資訊稱為Dynabook 的新型筆記型電腦的構想。但直到2002 年秋季才因微軟公司大力推廣Windows X...

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點閱 (27)
2011.7, Vol.03 / 新象新知
Solar Power Optimizer : How It Works, and The How It Works, and The
太陽能功率優化器的原理與應用
文 | 謝志杰 | 太陽能製造營運處 |
隨著傳統石化能源因為碳排放所造成的溫室效應，以及對核能安全性的疑慮，再生能源受到愈來愈多的重視。太陽光電系統由於以下幾個優點而受到矚目： 1. 無需燃料、無廢棄物與汙染、無轉動組件與噪音。 2.太陽電池壽命長久，長...

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點閱 (31)
2011.7, Vol.03 / 新象新知
The Application of Ceiling Fans in Environmental Protection and Air Condition
自然風吊扇對綠色環保與空調舒適度之應用
文 | 林志勇 | 管采榕 | 公共設施服務部 |
在偶然的機會拜訪工研院綠能所討論室內空氣品質相關議題，會議快結束時工研院綠能所江政旭博士介紹會議室中安裝的另類產品－自然風吊扇。令我們驚艷的是在開會過程中幾乎沒有發現有風扇的存在，自然風吊扇吹出來的風與一般電扇相較...

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點閱 (25)
2011.7, Vol.03 / 特別企劃
An application of Man-Cut Retaining Pile Method on F15P1 GAS YARD
人工鑽掘樁工法在十五廠一期 GAS YARD基樁之應用實例
文 | 廖哲逸 | 潘冀聯合建築師事務所 |
國內許多都會區在有限土地資源下，為了有效利用土地空間，增進環境及生活品質，提升建築物使用機能，都應對建築專案之規劃、設計、施工、及後續之管理維護作妥善計畫。尤以專案之初所進行的大地工程，其高風險與高勞力等特性，更是...

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點閱 (57)

editor’s column 編者的話

黃偉裕 Cronus Huang | 十二廠六期專案

前兩期新工季刊分別討論虛擬實境建廠手法，以及創新與環保節能，主題是規劃與設計的探討。而本期新工季刊(第三期)則是著重工程面的實務經驗，特別邀請同仁來介紹新廠建廠過程中的新方法與新的管理手法。 在特別企劃中， 我們將介紹以要徑分析法（Critical Path Method）搭配系統化的施工數據來管理純水系統之PP及PVDF配管手法，有效管理與縮短工期; 而針對較為耗能的排氣系統，我們也介紹ABD(Auto Balance Damper自動平衡風門)的開發，藉由自動平衡風門的設置，希望可以使排氣系統達成穩壓、限流、省能的多重目的。針對大十二廠(F12P1/2，P4/5，P6，P7)的高壓電力備援系統，必須作到最有效之運用，達到跨越廠區之間的電力備援，提供最佳化的電力供應，也在本期季刊中說明是如何克服此嚴峻的挑戰。除此以外，我們也邀請潘冀聯合建築師事務所廖哲逸先生來介紹人工鑽掘樁工法如何應用在台積的新建廠房；而最新的智慧型控制閥定位器如何運用在新廠中，以及液態氦氣供應系統導入TSMC的評估，都是本期的精選的專業企劃。 而新工處也持續在技術創新，本期將與讀者分享我們在不同領域的進展，包括減震策略、L E E D - N C ASHRAE 52.2的應用、EMI 屏蔽案例與研究、Exhaust Monitor的探討、Indoor AirQuality Improvement，以及廢水中氨氮的去除技術。 最後，也要在此與各位分享一個令人振奮的消息，經過300天的團隊合作，台積電位於中科的F15P1也在今年5/12 正式進入裝機階段，這是台積電的第三座Giga Fab，也是台積電所擘畫的另一段美好的延伸；建廠過程中只有往前絲毫沒有半點猶豫的機會，過程不是辛苦可以形容，在此感謝過程中所有參與者您們的付出，當然還有家人的體諒。本期季刊在特別企畫第一篇文章，也將向各位介紹這座嶄新的晶圓廠，在設計施工中的創新與成果。

發行人 Publisher

莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com

總編輯 Editor in Chief

范恩祖 E.T. Fan | etfan@tsmc.com

主編 Managing Advisory

黃偉裕 Cronus Huang | cronus_huang@tsmc.com

編輯顧問 Editorial Advisory

陳鏘澤 Tony Chen / 鍾振武 Chenwu Chung / 洪永迪 Eddy Hung

編輯委員 Editorial Board Members

林素芬 Sophie Lin / 賈芸如 Ruby Chia / 丁瑞華 Howard Ting / 蘇鈺洲 Y.C. Su / 于 淳 Chwen Yu / 郭安婷 Lucinda Kuo / 林永祥 Martin Lin

美術主編 Art Director

洪湘寧 ViGi Hung | vigi_hung@tsmc.com

攝影 Photographic Editor

洪湘寧 ViGi Hung / 宋思賢 Alan Song