首頁 / 分期閱讀 / Vol.31 水氣化系統運轉生產力提升與自動化發展實務
2018.9
Vol.31 / 技術專文
New Auto Jar Test Application of the CMP Waste Water of Coagulation and Sedimentation
先進研磨廢液混凝沉降自動化系統開發與應用
半導體產業於廢水處理系統中,研磨廢水的部份採用混凝沉降的方法進行處理。而混凝沉降方式主要在於降低水中粒子間的相斥電位,相互接觸凝集而達到固液分離的目的(電性中和),而混凝劑及膠凝劑加藥量控制精準與否?將影響最終處理...

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Vol.31 / 技術專文
New Generation Chemical Coupler Booth Design
新世代化學品灌充口設計
隨著半導體製程持續演進,槽車化學品用量不斷被提高,化學品灌充作業人力也逐年上升;過去也曾因為外部環境品質影響,造成灌充前取樣量測不穩定。本文主要說明如何應用滑軌、氣壓缸與訂製夾具等動力元件於化學品灌充設備中,來設計...

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Vol.31 / 技術專文
Automation Circulation Drum System Development
研磨液自動循環系統開發 解決手動操作風險
現行研磨液的均勻再分散,是藉由搖搖機來進行;然而,搖搖機屬於高風險手動作業設備,非自動化的人力操作凸顯誤操作的風險、作業安全及人力資源取得的問題。本計畫開發的研磨液自動循環系統,於回流端和抽吸端的汲取管分別裝設混流...

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Vol.31 / 技術專文
A Study of Ultrapure Water Nanoparticle Detection Technologies
談超純水 奈米顆粒偵測技術
對於液體中顆粒數量之檢測,現今大都以雷射散射法作為判斷依據,受限於光學繞射極限,要偵測到 20nm 以下之奈米顆粒有很高難度,特別是在液體中顆粒數量稀薄的狀況下,如超純水;同時,超純水的奈米顆粒潔淨度又與半導體製程...

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Vol.31 / 技術專文
Application of Near Infrared in the Detection of Slurry
談近紅外線光譜於研磨液檢測之應用
目前研磨液供應系統的線上雙氧水濃度儀使用氧化還原滴定分析法,單筆分析時間長,在運轉維護上需消耗人、物力且分析過程產生的廢液也會造成環境衝擊;此外,傳統研磨液品質分析量測項目,已無法滿足線上晶圓生產品質需求。本文研究...

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Vol.31 / 技術專文
Applying Leveling Agent in W-CuSO4 Plating System for Performance Enhancement
平整劑應用於液中求銅系統產能提升
廢液電解中常因部分干擾物質造成電鍍層外表結構不一定規則狀,在共同的電流下,端子離陽極距離較近的部位稱為局部高電流區,局部高電流區電解形成速度較快,在惡性循環下造成銅花的情形發生,進而造成橋接短路發生,廢液電解中最常...

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Vol.31 / 技術專文
Cobalt Recycle Methodology Study on Waste Water Treatment
廢水外排不鈷息: 先進製程廢水全鈷回收
鈷被大量應用於晶圓先進製程,而其產生之含鈷廢水造成的重金屬汙染對於環境有很大衝擊,需要一個妥善處理含鈷廢水方法,將處理後含鈷有害廢棄物轉換為有價的金屬資源回收,並減少避免處理過程中的衍生環境汙染風險。本篇研究以螯合...

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Vol.31 / 技術專文
A Study of Ammonium Sulfate Concentrated Technique
硫酸氨提濃技術探討
隨著法規納管標準漸趨嚴謹,半導體製程中廣泛使用氨水及硫酸,造成排放廢水含有高濃度氨氮以及廢硫酸廢棄物。業界普遍以脫氣膜方式去除水中氨氮濃度,進而衍生產出硫酸氨廢棄物。故本文介紹利用氨氮系統參數優化調整及硫酸氨回流等...

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Vol.31 / 技術專文
The Practice of Waste IPA Reduction by VEX Waste Heat Recycle
以回收有機排氣系統廢熱進行廠內異丙醇減量之實務應用
在半導體製程中常使用於晶圓乾燥、清潔之IPA化學品,隨著製程技術之推進以及晶圓線寬之微縮,導致IPA廢液在質與量均大幅改變:廢液量大幅增加但含水率過高,導致已無回收價值,僅能以焚化方式處理,造成處理費用增加。本研究...

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Vol.31 / 技術專文
The Study of Water Hammer Effect on Process Cooling Water Improvement in High Flow Tool
大用水量機台之水槌效應於製程冷卻水之研究改善
製程冷卻水(PCW)用途為供應製程冷卻水,將製程機台所產生的熱量透過熱交換方式帶走。本文將探討如何改善高用水量機台觸發緊急停止(EMO,Emergency Off)時,對PCW系統產生水錘效應與供應溫度變化的影響。...

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Vol.31 / 新象新知
Development of the Quality Check System for Specialty Gases
特殊製程氣體之品質監測系統開發
本計畫設計了一套特殊製程氣體之品質監控系統(SGQCS),以補足目前特殊氣體在所有生產原物料中品質監控較弱的一環。此系統結合了現有的氣瓶櫃(GC),再由一個選擇箱體(Select Box)、一套分析儀器主體及一個氣...

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竹科十二廠七期演講廳外圍 攝影/ 洪湘寧

editor’s column 編者的話

尤國男 | 竹科廠務五部

去年出差到南京十六廠,與當地同事聚餐中很驚喜體驗到中國大陸電子商務的威力,還記得那是一間約可容納300位客人的餐廳。首先讓我訝異的是外場的服務人員只有十位左右,原來從進餐廳前的抽號碼牌排隊、點餐、出帳、結帳都透過手機APP操作,免去大排長龍的困擾,提供有效率的服務品質,而服務生專心做好上菜、介紹菜以及客人離座後的收拾,或許因為專注,所以一切顯得很有條不紊且快速。 有了這一次的體驗之後,今年八月趁著暑假帶家人再訪北京、上海。這次的旅程讓我更深刻體驗到中國大陸電子商務對民生生活帶來的改變。首先是時下台灣很流行的扭蛋機是向機台投入硬幣後,操作機台上的旋鈕來獲得扭蛋;而中國大陸的扭蛋機則是透過手機掃描機台條碼,利用支付寶或微信 APP 付款成功後,即可操作機台旋鈕來獲得扭蛋。過程中不需要為了投幣去櫃檯換零錢,也不需要隨身帶著沉甸甸的零錢。另一個體驗是現榨柳橙自動販賣機,只見販賣機內陳列一顆顆柳橙,同樣透過手機掃瞄條碼支付成功後,柳橙會沿著販賣機內的軌道滾下來,掉入下方的榨汁機,經過剖開、榨汁後約20秒鐘,新鮮的柳橙汁就盛滿在取物口的杯中,過程完全自動化,而且口味非常新鮮可口。而最令我印象深刻的是餐廳外送服務,那一天晚上在上海外灘散步,黃埔江邊的夜景很美,因此想找一間江畔的餐廳用餐並好好感受上海風情,然而又考慮這些餐廳消費實在很高,因此突發奇想查閱外賣 APP,希望把餐點直接外送到同樣在黃埔江畔的飯店客房。令我驚訝的是提供外賣服務的餐廳琳瑯滿目,我特別挑選價格合理、台灣也有的俏江南餐廳(聽說口味與台灣不同),從點餐到收餐約莫只花了三十分鐘。過程中透過手機 APP 即時追蹤送餐進度,我剛好散步回到飯店門口,餐點就準時送達,同時透過手機網路結帳,非常便利,也享受了一餐江畔客房內的悠閒晚餐。 星星之火可以燎原,現階段智能化、自動化已經不是高門檻的技術,而重點在於如何應用,我看到中國大陸已經透過新應用開始翻轉民生生活,多年以後的世界會變成甚麼樣子實在很難想像,身處大環境的我們更應該抓緊契機,改善工作流程、機制、方法等,營造更有效率、更精準、更友善的工作環境。 摘要本期季刊內容,在廠務自動化應用主題包含開發研磨液自動循環系統、化學槽車自動接合灌充設計、研磨廢液混凝沉降加藥即時監控系統等,我們探討以自動化系統解決手動作業可能造成的安全與品質風險。超純水奈米顆粒偵測技術、紅外線光學於研磨液檢測則是開發新的偵測技術應用,幫助廠務純水、研磨液的供應品質向上提升。除此之外,關於環境保護的議題也有所著墨,例如廢水中所含鈷離子去除方法探討、有機類排氣系統內異丙醇減量實務應用、硫酸銨提濃減廢技術討論、廢水中銅離子電鍍製程產生的毛邊問題與解決方法,還有大用量製程冷卻水機台的水槌效應改善,內容非常豐富。 我要特別感謝本期來自新竹、台中、台南不同廠區的廠務同仁齊心協力,經過幾次會議討論,多次內容調整、修改才能完成這期季刊。過程中我看到大家對問題研究的熱忱,不吝分享自己的成果,正如先前所提,星星之火可以燎原,期待我們都能扮演點亮別人的種子,創造美好的未來。

發行人 Publisher

莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com

總編輯 Editor in Chief

范恩祖 E.T. Fan | etfan@tsmc.com

主編 Editor

尤國男 G.N.You | gnyou@tsmc.com

美術主編 Art Director

洪湘寧 ViGi Hung | vigi_hung@tsmc.com

編輯顧問 Editorial Advisory

薛仁猷 J.Y. Hsueh / 陳鏘澤 Tony Chen / 陳勇龍 YungLong Chen / 江世雄 S.H. Chiang / 洪永迪 Eddy Hung

編輯委員 Editorial Board Members

李靜怡 Marie Lee / 林素芬 Sophie Lin / 鄭昭平 Tim Cheng / 丁瑞華 M.L. Lee / 李明利 M.L. Lee / 林豪逸 Hao-Yi Lin / 王俊元 Jimmy Wang / 曾恒毅 Heng-Yi Tseng / 邱卓皓 Cho-Hao Chiu / 黃介然 Andy Huang / 李玫 Mei Lee / 邱東蔚 Bert Chiu / 黃文彬 Jimmy Wang / 王慶林 Eric Wang / 趙樹華 Chris Chao