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首頁 / 分期閱讀 / Vol.38 落實廠務全面品質管理的關鍵議題
2020.8
The Implementation of
The Plant Total Quality
Management of The Key Issues
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Cybersecurity Protection–Trends and Strategies in Industrial Control Cybersecurity
廠務資安防護–工控資安趨勢及策略
文 | 黃稚程 | 新廠設計部 |
孫子兵法云：「多算勝，少算不勝，而況無算乎」。從資安風險的角度來衡量廠務，需清楚內部有何工業控制系統，何系統與可用性及人員安全的關聯性最高，何系統流程影響工廠運轉最深，並釐清這些系統或流程受駭客攻擊的可能性，然後藉由資安...

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點閱 (101)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Supply Parameter Change Management
落實廠務全面品質管理的關鍵議題–廠務變更管理
文 | 邱保仁 | 竹科儀控系統課 |
在晶圓廠中廠務系統所扮演的角色是提供穩定、有品質的物料(SDS、CDS、 GAS)供機台設備製造晶圓使用；因此，提供穩定而有品質的物料是廠務永遠追求的目標，而關鍵點就在於系統機台的參數設定，參數的設定失真會影響到物料的輸...

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點閱 (29)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–Facility Systems Supply Quality Management
廠務系統穩定運轉–廠務供應品質
文 | 陳恩德 | 竹科儀控系統課 |
現今晶圓生產、及機台運作需要穩定及高品質的電力、空調、水處理、及氣體與或化學品供應，越高階製程所需要的廠務供應品質要求越高。目前廠務品質管理分為In-line/Off-line不同指標，本文探討廠務既有品質管理是否與Fa...

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點閱 (38)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
The Problem Solving Method for Faclity Interruption Event.
廠務系統供應中斷問題解決方法
文 | 劉佳芳 | 竹科儀控系統課 |
隨著半導體製程不斷演進與製程複雜、及高科技產品快速地推陳出新 ，晶圓的價值也持續攀高，及必須快速生產推向市場，一但廠務供應中斷影響生產，或是廠務排放品質異常導致環保問題，除了工廠大範圍運作受影響，公司信譽與形象也會受負面...

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點閱 (36)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–System Reliability Management
廠務系統穩定運轉–可靠度管理
文 | 劉聖元 | 中科儀控系統課 |
廠務系統為穩定運轉，而設計為熱備援模式穩定供應，廠務系統除了要求各個設備穩定運轉外，也要求即時運轉在熱備援模式，以避免任何一項設備問題停機而影響整體系統穩定供應；為了能夠即時偵測系統是否符合熱備援穩定運轉需求，因此系統可...

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點閱 (10)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–System Alarm Management
廠務系統穩定運轉–警報管理
文 | 王明富 | 劉聖元 | 中科儀控系統課 |
警報管理為廠務運轉的基石，如何建構完整度100%整合系統架構沒有遺漏?如何智能區別為真實警報或是維修、保養及測試警報?系統發生警報泛洪(Alarm Flooding)時，值班該如何面對?如何讓警報轉化為事件?需要智能自動...

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點閱 (59)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
User Requirements–based Information Integration Platform for Facility Management
使用需求導向資訊整合平台–以廠務開關門十件事為例
文 | 吳智瑋 | 新廠規劃部 | 賴意中 | 新廠規劃部 |
近年來隨著廠務組織合併/調整與運轉管理持續精進，舊有廠務值班與品質管理資訊整合平台已漸漸不符使用。存在的問題包含資訊整合廣度不足，且散落在不同的資訊系統、廠內運轉狀況的彙整與呈現不夠即時等。為了提升廠務運轉管理的效率，本...

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點閱 (89)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–Consumption Management
廠務系統穩定運轉–桶槽用量管理
文 | 林威志 | 中科儀控系統課 |
隨著半導體製程的演進，製程所需的化學品用量也隨之大增，造成原物料與廢液的產出也大增，因此物料用量的管理與廢液清理的管理便成為一個重要的課題；廠務系統係Central供應Fab使用，如何確保製程所需的化學品能供應無虞並且產...

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點閱 (67)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
The basis for stable operation–People management
穩定運轉的基礎–人員管理
文 | 詹立得 | 南科儀控系統二課 |
有效的人員管理機制是提升廠務運轉穩定不可或缺的要素，針對工作的執行性質不同多年來已發展出許多的管理方法，諸如高度風險工程管理、特殊作業許可證等管理辦法，本文就針對人員管理與廠務運轉穩定度的相關性深入討論，找出現階段廠務運...

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點閱 (22)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–Engineering Management
廠務系統穩定運轉–施工管理
文 | 吳柏葳 | 南科智能廠務管理課 |
伴隨著半導體製程的演進，相關所需的工程包含建廠、改機、擴充、移機及拆機等大大小小的工程是廠務團隊每天都要面對的，如何在維持廠務系統正常穩定運轉條件下，管理好施工人員的安全與施工品質一直是廠務重要的課題之一。本文將提出一平...

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點閱 (19)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility daily management Platform planning
日常管理落實–開關門十件事看板規劃
文 | 陳民凱 | 南科儀控系統一課 | 詹立得 | 南科儀控系統二課 | 劉家瑞 | 南科儀控系統一課 | 張翊祥 | 南科儀控系統一課 |
本文以台積電的品質管理為開頭，說明落實日常管理在企業營運及策略中的重要性，探討日常管理是如何利用PDCA的管理循環，去建立日常考核的關鍵績效指標(KPI)。並且進一步的將日常管理落實在廠務的主要工作任務上，從中我們得知現...

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點閱 (107)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
PM management system for facility stable operation
廠務穩定運轉之PM管理系統
文 | 張明葆 | 廠務處 |
半導體製造業需要穩定與高品質的供應系統，因此廠務設施穩定運轉就是其中的關鍵，其系統單元據有多元性與複雜性，然而這麼龐大與多元系統設備要如何平時做好維修保養管理，並提供穩定的Utility給晶圓生產製造將是一大考驗。 本文...

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點閱 (13)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Uninterrupted Quality Management–Facility SMP
持續不間斷的品質管理–廠務SMP
文 | 何吉修 | 南科儀控系統二課 | 吳永堂 | 廠務處 | 李豐豪 | 新廠設計部 |
台積公司的整合製造管理平台(Super Manufacturing Platform, SMP)，除了能讓客戶得到相同的品質與可靠度，還能享有更大的產能彈性、縮短良率學習曲線與量產時間，並減少昂貴的產品重新認證所需要的流...

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點閱 (62)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Implementation of Total Quality Management by Automation Technology
以自動化科技落實全面品質管理
文 | 陳浚瑋 | 南科智能廠務管理課 | 周啟昭 | 南科廠務六部 | 吳柏葳 | 南科智能廠務管理課 |
半導體製造要維持競爭優勢，品質的良寙扮演重要的角色，尤其目前智能駕駛輔助系統漸漸成為未來車輛標準配備，車用晶片的可靠度更是攸關使用人員的性命安全，需藉由全面品質管理(Total Quality Management, T...

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點閱 (43)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–200mm fabs Quality Management
廠務系統穩定運轉–200mm Fabs品質管理
文 | 吳永堂 | 廠務處 |
200mm廠區皆為20年以上的老廠，一些人在這些廠用一輩子的青春，盡心盡力地絞盡腦汁在改善這些廠區的供應品質，廠務品質管理由TSMC FACILITY GENERIC SPC PRACTICE and SPEC. O.I...

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點閱 (25)
主編於南科十八廠一期值班台電視牆拍攝 攝影/孫揚淂

editor’s column 編者的話

楊水定 | 南科廠務三部

從2006年廠務品質系統由廠務與公司品管部門共同合作以Facility Robust sigma為統計基礎量身打造符合廠務需求的SPC品質管理指標以來，時間也經過10幾年了；這期間公司製程技術也從0.13微米一路發展到個位數奈米級，因應先進製程持續往更微縮的方向走 ，對廠務供應品質的挑戰從量測儀器的偵測極限、監測點數的倍數增加到跨廠品質比對的需求等等皆一一浮現；如何同步持續精進廠務供應品質以因應未來更先進製程對廠務供應系統更嚴苛的要求是本專刊提出廠務全面品質管理的根由。 本專刊結合廠務監控各領域的專家一起來打造全面切合公司未來發展需求的廠務品質系統。

發行人 Publisher

莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com

總編輯 Editor in Chief

范恩祖 E.T. Fan | etfan@tsmc.com

主編 Editor

楊水定 S.D. Yang | sdyang@tsmc.com

美術主編 Art Director

孫揚淂 YangTe Sun | YTSUNL@tsmc.com

編輯顧問 Editorial Advisory

薛仁猷 J.Y. Hsueh / 陳鏘澤 Tony Chen / 陳勇龍 YungLong Chen / 江世雄 S.H. Chiang / 洪永迪 Eddy Hung