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廠務在晶圓生產過程中扮演穩定基石的角色，一方面要供應高品質的水、電、氣、化，另一方面在節水減廢的相關環保議題也要持續不斷精進。本期季刊針對水氣化系統如何在既有的運轉基礎上，提出穩定運轉防禦對策以降低風險，並討論新世代廠務系統如何導入自動化、智能化，提升化學品原物料更換效率與安全性之創新思維，本期共收錄十一篇文章，分享水氣化系統努力的成果與未來發展方向。 氣化領域共有四篇，〈桶裝化學品高效供酸新架構〉首創將供酸系統中的Drum單元與流動棚結合，有效提升搬運效率。〈化學品金屬汙染指紋資料庫與改善對策〉分析現行化學品量測過程中之干擾因子加以實驗佐證並改善，提高量測成功率。〈化學研磨液供應系統的改善〉則是提出化學研磨液供應系統之常見問題與對策。最後的〈化學品用量異常即時偵測系統〉，是廠務與自動化整合部門(CIM)共同開發自動化系統，達到快速、即時、有效地偵測到化學品異常用量。 水處理系統共六篇，〈業界廢水零排技術與機會點〉分析業界零排放的重要技術，並評估應用於未來運轉上。〈談放流水生物急毒性之研究〉分析廢水生物急毒性潛在問題及管制標準，作為毒性減量及處理方法選用依據。〈以廢水治廢水─以生物處理有機廢水〉透過有機廢水所含之IPA為碳源，使生物系統發揮完整效益。〈禦敵從嚴─氨氮系統脫氣膜最佳運轉防禦〉、〈逆滲透膜於高濃廢水下之反向流交互產水操作策略〉兩篇，提出脫氣膜與逆滲透膜運轉之防禦對策， 提高系統穩定度。〈工業再生水研發─回收模廠運轉最佳化〉再生水模廠透過流程簡化，成功將單價降低並符合水質目標。 在新象新知部分，本期分享〈廠務自動化與智能化之應用〉，討論如何透過自動化技術實現化學品原物料無人化自動更換，並提出新科技於廠務運轉可能的應用，以邁向智慧工廠的新世代。
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