現今半導體製程發展一日千里，研發廠所面臨的空污排放問題，在處理防制上已是越來越困難了，其原因主要為研發廠空污問題具多變性及未知性，多未能有良好的空污處理經驗以茲依循，另因應研發製程的需求迫切，可擬定空污防制對策的時...