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Ann.2022 / 技術專文
Summary Report of TSMC Facility System Annual Maintenance Report 2022
2022年台積公司廠務系統年度維修總結報告
2022年是台積公司將廠務電力系統年度維修制度化及標準化的第一年,「APM專案」共排定與執行20個廠區年度維修計畫,包含1個廠區執行大APM (F12P4/5),1個廠區執行中APM (F14P...

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Vol.37 / 技術專文
The Protection Strategies of Electromagnetic Interference and Electrostatic Discharge in Advanced Semiconductor Fabs
先進半導體廠電磁干擾與靜電放電之防護策略
本文主要探討在先進半導體廠,電磁干擾與靜電放電對生產的影響,及如何採取合適的防護策略;在電磁干擾部份,將由電磁波、電磁場切入,說明「游離輻射」與「非游離輻射」差異,而在電磁波的防制與改善上,將提出「被動式屏蔽」及「主動式...

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