隨著半導體製程的演進，製程所需的化學品用量也隨之大增，造成原物料與廢液的產出也大增，因此物料用量的管理與廢液清理的管理便成為一個重要的課題；廠務系統係Central供應Fab使用，如何確保製程所需的化學品能供應無虞並且產...