發表文章(2)

Vol.53 / 技術專文
Net-zero-Future plan for carbon capture
淨零排放的挑戰-碳捕捉技術及未來展望
台灣行政院環保署於2023年因應全球氣候變遷並確保國家永續發展為前提訂定氣候變遷因應法,同時成立碳權交易所,預計於2025年開始徵收碳稅。台積公司也於2021年建立淨零排放目標,預計2040年達到淨零排放並規畫淨零...

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Vol.39 / 技術專文
Zero Contamination Supply Roadmap of AMC
AMC潔淨空氣展望
隨著半導體製程製程的演進,AMC(Airborne Molecular Contamination)對於製程的良率越來越重要,現行存在於MC中的低分子量汙染物(IPA/Acetone)為目前台積電半導體製程的良率瓶頸,為...

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