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Vol.39 / 技術專文
AMC Improvement Using CFD Analysis in CUP Area
從空污及煙流模擬改善運轉廠區AMC微污染
半導體廠房因土地空間的限制將煙囪設計於廠房的屋頂,當煙囪與外氣空調箱進氣口設計不良時導致污染物被MAU吸入至廠房內,形成AMC微污染。本文研究減少MAU進氣口受到污染物的影響,首先利用IC放樣得知冬天(東北季風)時進氣口...

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