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Vol.39 / 技術專文
The crisis and exploration of air AMC in Nanjing
南京外氣AMC的危機與探究
半導體工藝的精進,使得潔淨室對空氣的品質要求越來越高,小顆粒的懸浮分子污染物對製品的影響越來越大。南京台積電身處工業園區,AMC問題存在內憂外患的危機。因南京廠區為新建廠,廠區內部目前仍有大量的有機溶劑施工作業,以及有半...

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