依據歷史地震資料顯示，半導體製程機台受地震影響最嚴重的是爐管機台，晶片也是在爐管機台內損失最嚴重，因此保護爐管機台與爐管機台內的晶片就成為對抗地震的重點目標。本文針對爐管機台隔震工程實務，做了一系列深入的探討，配合國家地...