FFU為維持潔淨室環境的重要空調設備，FFU電源架構改接ATS可提高供電可靠度，但電源改接期間必須盡可能縮短作業時間以避免FFU停電過久影響潔淨室環境供應。本文以實際歲修案例分享電源改接作業之安全管理措施，降低人員作業風...