The Breakthrough in the Spatial Location of Local Scrubber
8吋成廠區在LSC拆裝的空間位置突破 - 以8廠為例
F8從世大建廠之初運轉至今已超過20年，隨著半導體產業日新月異及製程的進步，產能需求銳不可擋，如何在有限的空間把機台安裝效率最大化已成為製造生產端、設備機台端與廠務運轉端最大挑戰。本文旨在分享及介紹F8拆裝機過程的規劃，...
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