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Vol.48 / 技術專文
The Strategies and Risk Controls of Tainan Science Park Reclaimed Water Implemented in T-Site TSMC.
南科再生水導入規劃及風險控管對策
台積公司為實現綠色製造,與政府合作建立台積電南科再生水廠,其水體主要來源組成為民生污水與工業廢水回收再利用。為了能夠成功導入製程用水取代自來水,且不影響工廠運轉及晶圓製造,本文以與再生水廠簽訂之21項合約水質為標準...

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