Grounding Damage Investigation and Improvement Analysis
破損地網接地改良探討與驗證分析
接地系統是科技晶圓廠安全運行的重要基礎，不僅為廠內各項設備提供電位參考點，在電力系統發生事故/雷擊或干擾時，能夠迅速提供接地電流宣洩路徑，以保障機台及人員安全。本文將針對某一特殊案例：即在已施作完成建築基礎上，因結...
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