Airborne Molecular Contamination Monitoring Technology for New Fab Cleanroom Construction
新建廠潔淨室氣態分子汙染監控技術之應用實務
本文以建廠期間極具代表性的黃光區為例，說明兩項主要污染物氨(NH3)和總有機碳(TOC)，如何應用監控儀器配合各種空氣分子汙染(Airborne molecular contamination, AMC)之去除設備...
按讚
0收藏
0點閱 (34)