晶圓廠的興建作業中，土建鋼構及無塵室的建造為主體項目，而無塵室的迴風格子樑設計導致土建作業的難度增加，為了能夠縮短整體工期滿足安全的要求，承攬商將公共工程常見重型施工鷹架導入在十五廠三期與四期廠房的無塵室新建工程，...

針對無塵室高耗能的外氣空調箱(Makeup Air Handling Unit，以下簡稱MAU)進行節能改善，一直是廠務人員關注的焦點，在各式節能方案中，又以導入循環盤管(Run-around Coil，以下簡稱R...