F12P5 Liquid Nitrogen Central Supply System
十二廠五期液態氮中央供應系統
RD在F12P4廠區開始導入GN2 supply under -185℃的系統，藉此低溫環境來降低物質活性，達成預期目標。機台所需的低溫環境，是藉由更低溫的物質(Liquide N2...
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