Vol.29 / 技術專文
The Application of Battery On-line Activator for UPS System
不斷電系統電池在線活化修復器之應用
晶圓生產之機台大量使用不斷電系統(UPS)來維持供電品質,當中鉛酸電池就是維持UPS運作的供電來源。目前活化電池的技術大略有三種:化學除硫活化、大電流充電活化、脈衝電流活化,當中以脈衝電流活化的方式副作用最少,且在...

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Vol.28 / 技術專文
Recycled Material Activation of Disconnection Tool
拆移機資產活化再利用
近年半導體製程演進快速,調整機台配置(layout)以滿足產能需求已成常態,加上廠區無塵室(fab)空間有限,進而衍生大量拆移機發生,統計2016年1月至2017年12月,新竹及台南廠區約2,000多台拆移機,其中...

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