TSMC 廠務季刊

2020.7, Vol.37 / 技術專文

The Protection Strategies of Electromagnetic Interference and Electrostatic Discharge in Advanced Semiconductor Fabs

先進半導體廠電磁干擾與靜電放電之防護策略

文 | 歐人華 | 中科廠務三部 |

本文主要探討在先進半導體廠，電磁干擾與靜電放電對生產的影響，及如何採取合適的防護策略；在電磁干擾部份，將由電磁波、電磁場切入，說明「游離輻射」與「非游離輻射」差異，而在電磁波的防制與改善上，將提出「被動式屏蔽」及「主動式...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

Remediation of Soil Pollution in Semiconductor Facility

半導體廠房土壤污染整治

文 | 陳人滎 | 林裕聰 | 先進封裝工安衛生部 |

台積電先進封測三廠為公司首次跨產業、坐落桃園市並與合作客戶收購廠房，進行土地移轉時，依法應提供土壤污染檢測資料，執行全廠區及重點區細部土壤檢測。經XRF篩測後發現，碼頭區受重金屬鉻、汞、鎳污染，且污染集中於 1 公...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid

廢硫酸去除雙氧水系統安全防護提升

文 | 呂欣 | 十四B廠工安衛生部 | 劉明翰 | 十四B廠工安衛生部 | 唐祺夏 | 十八廠 | 劉柏青 | 南科廠務五部 | 蕭千城 | 南科廠務五部 | 吳厚萱 | 中科廠務五部 |

本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗，評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

Safety Management for EUV Tool

超紫外光機台全方位安全管理

文 | 曾威霖 | 十二廠工安環保一部 |

超紫外光(EUV)為半導體製程持續微縮並延續摩爾定律(Moore's law)的新世代微影技術，亦是台積公司能持續保持先進製程技術領先的關鍵設備，EUV造價昂貴且使用大量具極度易燃特性的氫氣(Hydroge...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

Flood Control Strategies of Plants in Southern Taiwan Science Park

南科防洪策略

文 | 吳昆桂 | 六廠工安環保部 | 連唯盛 | 十五B 廠工安環保部 |

南科地區在2009年莫拉克風災時，出現超過200年重現期的降雨量，當時廠房雖未淹水受損，但從風險預防及營運持續管理的角度，我們希望具體量化洪水風險，檢討對應的改善措施，並建立預防機制。考量氣候變遷可能惡化極端氣象條...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

Strategies and Countermeasures for Emergency Response in Magnitude 6 Earthquake

六級強震巨災應變對策

文 | 盧宣任 | 十四A 廠工安環保部 |

地震為發生機率高且不易預測之天災，近幾年陸續於全球各地出現六級以上強烈地震；且強震對半導體廠造成之傷害極大(包含人員安全與生產中斷)，因此如何面對這麼巨大的天然災害，並於第一時間做好緊急應變，固守人員安全並快速回復...

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2018.12, Vol.32 / 新象新知

The Challenge and Coping Strategies of Hazardous Chemical Exposure Assessment and Control Banding in High-tech Industries

高科技業危害性化學品暴露評估及分級管理制度面臨之挑戰與因應策略

文 | 蔡朋枝 | 國立成功大學醫學院工業衛生學科暨環境醫學研究所 |

高科技產業先進製程繁複且變化快速、使用化學物質多，其中並非所有危害性化學品皆具容許濃度標準，而具容許濃度也有可能無建議採樣方法，且環測數據多為未檢出，因而在技術、經費與人力需求上，無法單純使用作業環境監測來解決。如...

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2015.6, Vol.18 / 新象新知

Membrane Filtration Capability Evaluation Method Establishment & Development and Application of Inorganic Membranes for Nanoparticle Removal

薄膜過濾功能鑑別方法建立及無機薄膜於奈米顆粒去除之開發與應用

文 | 林恩添 | 廠務技術發展部 | 童國倫 | 國立台灣大學化學工程學系 |

本文說明建立金粒子搭配ICP-MS 分析之粒子阻擋法作為薄膜過濾功能之鑑別方法，此法最大優點為突破光學顆粒計數器(OPC) 分析之限制(20~50nm)。以此法檢驗本文開發之無機濾膜整體去除效率可達99.9%，顯著...

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2014.9, Vol.15 / 新象新知

Applications of Nanotechnology on Carbon Dioxide Capture and Sequestration

奈米科技應用於二氧化碳捕集與封存技術

文 | 劉雅瑄 | 國立台灣大學 |

世界各國由制度、法規及經濟層面著手控制人類工業活動過程中排放的二氧化碳，除了替代能源的開發，二氧化碳捕集與封存(Carbon Dioxide Capture and Sequestration, CCS)在世界各國...

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2014.9, Vol.15 / 新象新知

WAN 3D Satellite Warning System Architecture and Function Introduction

衛星3D廣域預警系統架構及功能介紹

文 | 張清淦 | 新廠營建部 | 陳晉德 | 西門子股份有限公司 |

要如何有效保護企業內的重要設施一直是多數業主所看重的議題之一，特別是大範圍設施，例如：港口、機場及工業設施（發電廠、資料中心、科技廠房、石化產業），要執行安防監控更是難上加難。目前多數防護措施均以增加警衛、攝影機以...

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2013.9, Vol.11 / 技術專文

Design and Installation for Anti-vibration Bases

隔振基座設計及安裝

文 | 趙樹華 | 工程品質暨安全管理部 |

廠務系統如排氣（Exhaust）、製程冷卻水（PCW）、廢水（WWT）及超純水（UPW）中的轉動設備(主動振源)及其相對應之管線(被動振源)為廠房中的主要振動來源，因此有效控制廠務設備因機器振動傳遞到地面的振動力，...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Nanoparticle Contaminants Measuring and Source Tracking Syst

奈米粒子捕捉技術介紹

文 | 郭啟文 | 廠務技術發展專案 |

A new nanoparticle detecting and tracking system has been proposed to measure nanoparticle contamination an...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Explosion Simulation of Hydrogen Released from the Massive EPI Processes

大量EPI製程氫氣洩漏爆炸後果模擬分析

文 | 洪文當 | 工程品質暨安全管理部 | 黃建彰 | 財團法人安全衛生技術中心 |

EPI 製程使用大量氫氣已經在國內外造成一些事故，因為製程需求，新建廠需規劃大量EPI機台，新工處與財團法人安全衛生技術中心共同合作，希望針對製程設備以定性及定量方式進行風險評估。此外，以CFD電腦模擬方式定性模擬...

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2013.6, Vol.10 / 新象新知

Graphene: the future Material for Semiconductor

未來的半導體材料：石墨烯

文 | 于淳 | 廠務技術發展專案 |

當今和未來半導體廠是以矽晶圓來生產行動通訊和智慧手機所需的元件為主，但隨著產品對傳輸速度和省能要求日益提高，根據目前的研究擁有極佳的導電導熱和電子遷移率的碳基二維石墨烯材料，可望在未來半導體製程中取代以矽基為主的半...

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2012.10, Vol.08 / 技術專文

Nano Particle Control in Facility Design

奈米粒子與防治技術運用於廠務設計

文 | 郭啟文 | 新廠設計部 |

由於製程技術的演進，積體電路線徑一路由65nm、45nm往28nm、22nm向下探伸，持續往16nm甚至更細微的尺寸發展。奈米粒子除了在物理性質與化學性質上，與巨積單元體有顯著差異，成為材料科學的熱門研究領域之外，...

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2012.10, Vol.08 / 新象新知

MRAM ( Magnetoresistive Random Access Memory) Introduction

談磁阻式隨機記憶體

文 | 于淳 | 廠務技術發展專案 |

MRAM 被認為是下世代的記憶體技術的聖杯，應用的原理是靠電子自旋而非電晶體開關的電子數目，MRAM它的優點為存取速度快、密度高、非揮發性，故可取代現今任何記憶體。...

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