To investigate the Challenge of AAS Systems in tsmc 8"Semiconductor Fab
探討台積電八吋晶圓廠空污處理系統的挑戰
隨著台灣歷經了多次的空氣污染防制法的修訂與政策變遷,建置時的空污處理設備效率不彰是許多老廠正面臨的問題。如何持續精進空污處理設備以達到公司綠色製造,永續經營的理念是關鍵。本文以台積電首座八吋晶圓製造廠三廠為例,運用KT決...
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