The wastewater treatment challenge of metal-organic compound in leading-edge semiconductor manufacturing technology
有機型鈷於半導體先進製程中水處理的挑戰
為延續摩爾定律，導入低電阻金屬材料成為必然，半導體業並於先進製程10/7nm導入鈷作為應用，鈷具毒性，為國內放流水標準今年新增管制項目之一。目前製程鈷排放90%以樹脂及電鍍回收，剩餘10%為Co-CMP排放，暫以ACF+...
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