Advanced Process Quality Guardian by Ensuring Pure Chemical Storage Tank Lining Fabrication Performance
先進製程守門員-以高純度化學桶槽內襯製造為例
台積新建廠化學品儲槽於運轉啟用後須確保品質安全無虞，一旦發生內襯或相關構件的汙染或滲漏(8吋廠區曾更換NH4OH及硫酸桶槽)，要進行維護或桶槽置換難度極高。目前內襯桶槽依不同內容物及汙染物阻隔需求已...
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