發表文章(2)

Vol.47 / 技術專文
The prevention of hydrogen leak from EPI LSC in N28 plant
虛驚不再來-N28 EPI LSC洩漏全面改善
N28 EPI製程會排放高濃度的氫氣至LSC進行處理,但隨著LSC元件逐漸老化導致LSC前段水洗氫氣洩漏風險上升。本文針對F15A廠內三個氫氣洩漏的虛驚案例,發現原因為機台設計、元件老化及既有保養方法不足,並以此朝...

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Vol.45 / 技術專文
Air pollution reduction-Discussion on the removal efficiency of organic pollutants by Local Scrubber
空污減量-現址式尾氣處理設備針對有機污染物去除效率探討
空氣污染議題是近年來工廠運轉日益重視議題,而煙囪排放有機污染物已成為顯學,本研究透過污染物源頭分析,利用現址式尾氣處理設備(Local scrubber)改造,進行源頭污染物減量改善,提升有機物去除效率,並利用模擬...

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