LSC Switching valve Risk Management and Intelligent Application
LSC切閥風險管理及智能化應用
隨著台積製程演進與空污改善需求的增加，工廠內的廢氣處理設備(Local Scrubber, LSC)切閥次數也更加頻繁，其各廠區LSC切閥異常的案件及影響機台生產的品質也不斷的攀升。為了避免各廠區人員切閥異常造成的...
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