Development and application of an integrated auto-clean machine for Pumping-line
Pumping-line 全自動清管器的開發與應用
「製程排氣管路」(Pumping-line)作為「生產機臺附屬系統的一環,一方面承載著提供製程chamber高真空度環境的作用,另一方面也是製程排氣輸送至「現址式廢氣處理洗滌塔」(Local scrubber, L...
按讚
0收藏
0點閱 (56)