交通大學工業工程研究所畢業。2001年進入台積電擔任QA工程師，2004年加入廠務機械課，接觸Local Scrubber系統至今已有約15年時間。榮幸參與本期廠務季刊的撰稿，Local Scrubber穩定運轉對於機台生產的穩定性以及製程尾氣的有效處理佔有重要決定因素。欲達成穩定運轉目標，應從其本質著手，希望藉由此篇文章拋磚引玉，激發讀者更多的創新與成就。