氫氣為晶圓製造上會使用到的大宗氣體(Bulk Gas)，N5製程以下EUV機台更讓用量突增(18廠滿載狀況下，估計氫氣每天需求達48台槽車)，先前台積工廠用的氫氣主要由蒸氣甲烷(天然氣)重整或甲醇裂解方式生產，生產...