Bio-ACF(BAC)'s technology applied decreasing TMAH of the effluent water
Bio-ACF(BAC)技術應用於廢水TMAH濃度減量之機制與研究
因全球半導體與光電業蓬勃發展,大量使用氫氧化四甲基胺(TMAH)顯影劑。本文中提到傳統樹脂可以有效吸附高濃度TMAH,但對於低濃度TMAH處理效益低,導致放流水TMAH雖符合園區納管標準卻未達ESG排放目標(<1m...
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