Application of Near Infrared in the Detection of Slurry
談近紅外線光譜於研磨液檢測之應用
目前研磨液供應系統的線上雙氧水濃度儀使用氧化還原滴定分析法,單筆分析時間長,在運轉維護上需消耗人、物力且分析過程產生的廢液也會造成環境衝擊;此外,傳統研磨液品質分析量測項目,已無法滿足線上晶圓生產品質需求。本文研究...
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