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Vol.24 / 新象新知
The Application of Dynamic Process Simulation to Semiconductor Facility Operation
談動態製程模擬技術在半導體廠廠務運轉的應用
本文介紹模擬技術的發展及應用現況,並說明如何透過動態製程模擬技術結合控制系統,來模擬半導體廠設備運轉特性及外在環境變化,建構仿真工廠以提供一個擬真的實戰訓練環境,協助廠務運轉人員快速累積知識與經驗,在面對異常事件或...

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