南科十四廠五期於2013年5月開始將20奈米製程投入量產，伴隨著新製程開發，意味著新型態前所未見的問題也將衍生出來，其中又以濕蝕刻製程中酸鹼氣混和產生的結晶問題最為困擾。往例的清理採取定期清潔方式，不僅造成人力的負...