目前tsmc各廠皆以鹽酸法去除廢硫酸中之過氧化氫，反應副產物氯氣再藉由尾氣處理系統去除。因鹽酸於低濃度硫酸中溶解度較大之特性，因此鹽酸法運用於低濃度硫酸處理時，不易形成氯氣，導致再生硫酸中氯離子殘留濃度偏高；進而影響氨氮...