Development and Application of Energy Conversion Factors (ECFs) Calculator of Fab Facility Systems
廠務能源轉換係數計算器之研究發展及應用
製程機台的耗能除了本身直接的電力需求外，尚需考量廠務系統之能耗，SEMI S23定義了能源轉換係數為提供單位製程設施使用量所需之耗電量，透過廠務「能源轉換係數」（Energy Conversion Factor, ...
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